Cтраница 4
Разработано несколько способов окисления кремния. [46]
Первый период характеризуется окислением кремния, марганца, железа и образованием шлака. [47]
Эти реакции, особенно окисление кремния, идут с выделением большого количества теплоты. Через 2 - 4 мин после начала продувки кремний полностью окисляется. [48]
В последнее время проводят окисление кремния в парах воды при повышенном давлении. [49]
В современной технологии Микросхем окисление кремния, как правило, проводят в два этапа: сначала для ( быстрого получения пленки необходимой толщины окисление ведут в парах воды или во влажном кислороде, а на завершающем этапе для получения более плотной пленки - в атмосфере сухого кислорода. При диффузии фосфора, если в системе есть ода, иногда наблюдаются локальные нарушения в пленке окисла. Это объясняется тем, что молекулы воды реагируют с фосфором и образуют фосфорную кислоту, которая и вызывает нарушение. Эти нарушения чаще всего наблюдаются на неровностях поверхности окисла - горках, число которых зависит от Чистоты поверхности кремния и, следовательно, может быть значительно уменьшено тщательной очисткой поверхности перед нанесением окисла. [50]
В растворе щелочи продукты окисления кремния переводятся в растворимое состояние. [51]
Первый период плавки характеризуется окислением кремния и марганца, образующийся кремнезем SiO2 связывается с окисью кальция. Закись марганца МпО и часть закиси железа FeO переходят в шлак. Углерод и фосфор в этот период слабо окисляются. [52]
После полного сгорания углерода и окисления кремния и марганца в конверторе остается мягкое железо. [53]
После расплавления в металле идут реакции окисления кремния, марганца и фосфора. [54]
После расплавления в металле идут реакции окисления кремния, марганца и фосфора. Первый железистый шлак скачивается или выпускается самотеком, если содержание фосфора отвечает заданному. Скорость выгорания углерода в процессе кипения регулируется периодическими добавками руды, пока анализы проб металла не покажут содержание его на 0 05 - 0 1 % ниже заданного предела. [55]
Окисная пленка при окислении силицидов ввиду предпочтительного окисления кремния состоит из одной фазы - SiO. При определенных условиях возможно образование многофазной окалины, содержащей, кроме Si02, окислы Мо. Теоретически было показано, что окисление Мо может происходить лишь тогда, когда при данном давлении температура ниже некоторого предельного значения. Отсюда следует, что наличие окислов Мо является необходимым условием образования на MoSi2 окисной пленки, не защищающей его от окисления при низких температурах. [56]