Cтраница 1
Рентгеновская оптика), а в дисперсионных системах используется дифракция рентг. [1]
Практическое развитие рентгеновской оптики и ее приложений зависит от того, в какой мере удастся усовершенствовать современную технологию и методы контроля в соответствии с весьма высокими требованиями, предъявляемыми к качеству поверхности и точности формы рентгеновских зеркал. Характер этих требований вытекает как из свойств рентгеновского излучения, так и из особенностей конкретной области применения. [2]
В основе рентгеновской оптики скользящего падения лежит явление полного внешнего отражения ( ПВО), открытое Комптоном в 1922 г. [50] и заключающееся в том, что эффективное отражение рентгеновского излучения от однородного зеркала возможно только при падении пучка под малыми скользящими углами, меньшими некоторого критического значения ( см. гл. [3]
Поскольку в рентгеновской оптике речь идет о длинах волн X та 0 1 - - 30 нм, то ясно, что на любой реальной поверхности даже после самой совершенной обработки остаются шероховатости, высоты которых сравнимы с длиной волны падающего излучения. В равной степени это относится и к поверхности идеальных кристаллов, атомная структура которых благодаря реконструкции может характеризоваться масштабами, существенно превосходящими межатомные расстояния. [4]
Таким образом, в рентгеновской оптике идет речь о сверхгладких поверхностях, требования к которым не регламентируются существующими стандартами. Как будет видно из последующих глав, в ряду факторов, ограничивающих сегодня параметры как рентгеновской оптики скользящего падения, так и многослойной, шероховатость поверхности занимает одно из первых мест. [5]
Крупный шаг в развитии изображающей рентгеновской оптики был сделан в 1952 г. Вольтером [86], который предложил использовать осесимметричные, глубоко асферические зеркала о поверхностями вращения второго порядка. Такие зеркала не имеют астигматизма и сферической аберрации, апертура пучка может быть значительно большей, чем в системах скрещенных зеркал. Вольтер показал, что кома первого порядка, препятствующая построению изображений с помощью одиночных осесимметрич-ных зеркал скользящего падения, значительно снижается в системах с четным числом отражений. К ним относятся системы параболоид-гиперболоид, гиперболоид-эллипсоид, параболоид-эллипсоид и ряд других, которые будут подробно рассмотрены ниже. Системы, построенные на идеях Вольтера, в настоящее время находят широкое применение в различных рентгеновских приборах. [6]
Эти вопросы чрезвычайно важны не только для рентгеновской оптики, но и для точного машиностроения, микроэлектроники и других отраслей. [7]
Прямой метод измерения индикатрисы рассеяния является безусловно наилучшим способом контроля качества рентгеновской оптики, однако имеет ограниченное применение. Сложности возникают при измерении неплоских зеркал, зеркал больших размеров, а также при контроле а процессе изготовления рентгеновского зеркала. С этим связаны поиски других методов контроля шероховатости поверхности, и самым существенным в этой работе является, по-видимому, сравнение результатов измерения каким-либо выбранным методом с измерениями рассеяния в рентгеновской области. Ниже мы более подробно остановимся на установлении корреляции измерений, выполненных различными способами. [8]
В первой главе вводятся основные физические понятия и положения, используемые в рентгеновской оптике, а также сообщаются сведения из атомной физики, необходимые для описания оптических свойств материалов в MP-диапазоне. Рассматривается актуальный вопрос экспериментального определения оптических констант. [9]
Несовершенства, дефекты кристаллической структуры смазывают эффекты многократного рассеяния; в этом случае в рентгеновской оптике говорят о кинематическом рассеянии. [10]
Таким образом, вопрос о влиянии поверхностных неоднород-ностей на отражение и рассеяние падающего излучения приобретает для рентгеновской оптики чрезвычайно важное значение, а перспективы ее развития и применения в значительной мере зависят от совершенствования технологии изготовления сверхгладких поверхностей ( как плоских, так и сложной формы) с высотой шероховатостей в десятые доли нанометров. [11]
Вероятно, особо следует сказать еще об одном виде измерений, связанном с интенсивным развитием в последнее время многослойной рентгеновской оптики - об измерении коэффициента отражения и разрешающей способности диспергирующих элементов для мягкой и ультрамягкой рентгеновской области. Для измерения коэффициентов отражения многослойных систем должна быть обеспечена возможность уотановки углов падения в широком диапазоне скользящих углов - от 10 до практически нормального падения. Измерение разрешающей способности требует высокого спектрального разрешения монохроматора и достаточно малой угловой расходимости выходящего из монохроматора пучка. Если учесть, что параметры существующих сегодня многослойных систем, имеющих ширину на полувысоте кривой отражения, на Ка-линии С около 30, выходящий из монохроматора пучок должен иметь угловую расходимость не хуже единиц угловых минут. [12]
Работы по синтезу таких слоистых материалов, ведущиеся с 20 - х годов, завершились в последнее десятилетие разработкой технологических процессов нанесения высококачественных многослойных покрытий, удовлетворяющих требованиям рентгеновской оптики и ее приложений. В этой статье изложена краткая история вопроса. Описаны как ранние, так и современные методы нанесения покрытий. Далее обсуждается современный статус многослойной рентгеновской оптики, использующей как плоские, так и изогнутые структуры. Рассматриваются физические и технологические ограничения и перспективы дальнейшего развития. [13]
Так как сдвиг по фазе PJ не зависит от индексов дифракционного луча и, в частности, не заменяется на обратную величину при переходе от hkl к Ш, то включение поправки на аномальное рассеяние делает лучи с индексами hkl и hkl не вполне равноценными по интенсивности и, следовательно, нарушает закон центросимметричности рентгеновской оптики. [14]
Так как сдвиг по фазе ifj не зависит от шдексов дифракционного луча и, в частности, не заменяется ча обратную величину при переходе от hkl к hkl, то включение по-фавки на аномальное рассеяние делает лучи с индексами hkl и / ltd ie вполне равноценными по интенсивности и, следовательно, нарушает закон центросимметричности рентгеновской оптики. [15]