Cтраница 3
Схема рентгенофлуоресцент-ного спектрометра аналогична схеме рентгеноэмиссионного спектрометра. Вакуумные рентгенофлуоресцентные спектрометры позволяют работать с длинноволновым рентгеновским излучением и определять легкие элементы. Для локального анализа поверхностных слоев твердого тела применяют современные РФ-спектрометры на основе капиллярной рентгеновской оптики. [31]
Дифракционные лучи hkl и hkl имеют одинаковые амплитуды и противоположные фазы. Поскольку I-F 2, оба луча имеют одинаковую интенсивность. В этом и заключается одно из двух положений, содержащихся в законе Фриделя о центросимметричности рентгеновской оптики. [32]
Работы по синтезу таких слоистых материалов, ведущиеся с 20 - х годов, завершились в последнее десятилетие разработкой технологических процессов нанесения высококачественных многослойных покрытий, удовлетворяющих требованиям рентгеновской оптики и ее приложений. В этой статье изложена краткая история вопроса. Описаны как ранние, так и современные методы нанесения покрытий. Далее обсуждается современный статус многослойной рентгеновской оптики, использующей как плоские, так и изогнутые структуры. Рассматриваются физические и технологические ограничения и перспективы дальнейшего развития. [33]
Это обзор, в котором подробно освещена история вопроса. Основной упор делается на взаимосвязь технологии нанесения многослойных покрытий, их структурных характеристик и оптических свойств в рентгеновском диапазоне. Барби дает представление о многослойной рентгеновской оптике как быстро развивающейся, многообещающей области, которая находится на стыке современных направлений развития физики и технологии. [34]
В табл. 1 ( см. приложение IV) перечислены наиболее интересные кристаллы, отобранные с учетом приведенных критериев. У ряда кристаллов наличие единственного большого периода решетки сочетается со слабыми межмолекулярными силами связи в этом направлении, что облегчает изготовление и практическое применение таких кристаллов. Так, кристаллы слюды и бифталатов обладают совершенной спайностью по рабочим отражающим плоскостям, что позволяет получать путем раскалывания пластины больших размеров с ненарушенной поверхностью толщиной до 0 2 - 0 3 мм и даже до 0 05 мм. Тонкие пластины могут быть упруго изогнуты на относительно крутые радиусы, обеспечивая большую светосилу фокусирующей рентгеновской оптики. [35]
Существует достаточно много методов, позволяющих проводить измерения шероховатости поверхности рентгеновского зеркала, однако универсального метода не существует. Каждый прибор, реализующий тот или иной метод измерения, имеет свою, характерную для него, разрешающую способность в плоскости ( X, Y), которую можно охарактеризовать некоторым параметром L. Численные характеристики профиля поверхности, полученные при различных значениях, могут, естественно, отличаться достаточно сильно. Поэтому результатами измерений параметров поверхности рентгеновских зеркал нужно пользоваться с осторожностью, имея в виду использование их для оценки качества рентгеновской оптики скользящего падения или подложек для многослойных рентгеновских зеркал. В этом смысле интересно провести сравнительный анализ результатов измерения сверхгладких поверхностей различными методами. [36]
Этот метод особенно удобен для анализа проб второй группы с дополнительной возможностью анализа in situ без разрушения проб. Анализ микроскопических осадков, частиц пыли воздуха, слоев коррозии, сегрегатов, микроскопических минеральных зон - вот несколько примеров применения этого метода. Анализатор состоит из четырех основных компонентов: 1) блока формирования зонда. Этот блок в свою очередь состоит из электронной пушки ( источника электронов) и магнитных линз для получения пучка электронов диаметром 1 мк на поверхности пробы; 2) оптического микроскопа для выбора места соприкосновения пробы с электронным лучом; 3) устройства для точного перемещения пробы и 4) рентгеновской оптики для выделения и измерения характеристического рентгеновского излучения. [37]
После рассмотрения различных методов измерения шероховатости сверхгладких поверхностей возникает вопрос о том, какой же метод следует предпочесть для оценки качества поверхности рентгеновских зеркал. Каждый из рассмотренных методов и приборов имеет свои недостатки и достоинства. Понятно, что самую полную информацию о поверхности рентгеновского зеркала дает метод измерения индикатрисы рассеяния той энергии, где предполагается использование зеркала. Однако отсутствие выпускаемых промышленностью приборов такого типа и их достаточно высокая сложность практически исключают возможность использования их как средства контроля технологии изготовления зеркальной рентгеновской оптики. Проведенный обзор и анализ методов показывает, что в качестве приборов для контроля готовых образцов рентгеновских зеркал можно рекомендовать щуповой профилометр, прибор для измерения TIS и метод реплик в просвечивающей электронной микроскопии. Вторая группа приборов, имеющих самостоятельное значение, - приборы для контроля качества рентгеновской оптики в процессе ее изготовления. [38]
Существует достаточно много методов, позволяющих проводить измерения шероховатости поверхности рентгеновского зеркала, однако универсального метода не существует. Каждый прибор, реализующий тот или иной метод измерения, имеет свою, характерную для него, разрешающую способность в плоскости ( X, Y), которую можно охарактеризовать некоторым параметром L. Численные характеристики профиля поверхности, полученные при различных значениях, могут, естественно, отличаться достаточно сильно. Поэтому результатами измерений параметров поверхности рентгеновских зеркал нужно пользоваться с осторожностью, имея в виду использование их для оценки качества рентгеновской оптики скользящего падения или подложек для многослойных рентгеновских зеркал. В этом смысле интересно провести сравнительный анализ результатов измерения сверхгладких поверхностей различными методами. В табл. 6.6 приведены характеристики методов для измерения шероховатости поверхности с а; 1 0 нм. Наиболее интересные с точки зрения нашего сравнения данные измерений, имеющиеся в литературе, собраны в табл. 6.7, в третьей графе которой даны соответствующие ссылки. Как видно из таблиц, измерения а разными методами имеют значительный разброс. Для поверхностей со сверхмалой шероховатостью ( а 1 0 нм) б отдельных случаях разница в измеренных значениях 0 составляет до 200 %, в случае более грубых поверхностей ( как, например, для зеркала из стекла № 5) значение о, измеренное щуповым профилометром, оказалась в пять раз больше, чем по данным оптического гетеродинного профилометра. В этом смысле оптический гетеродинный профилометр, как прибор для контроля качества поверхности рентгеновской оптики, надо использовать осторожно. Результаты измерений методами TIS и щуповой профилометрии, как видно, хорошо согласуются для сверхгладких поверхностей, однако с увеличением о наблюдаются существенные расхождения. [39]