Откачка - печь
Cтраница 1
Откачка печи производится через два патрубка: верхний - основной, расположенный над разделительным экраном, и нижний - вспомогательный, находящийся под этим экраном. Для того чтобы откачиваемые из печи пары не могли попасть в зону индуктора через перемычку па откачных патрубках, в последнюю вводится змеевик, охлаждаемый водой. [1]
Откачка печи производится через два патрубка: верхний - основной, расположенный над разделительным экраном, и нижний - вспомогательный, находящийся под этим экраном. [2]
 |
Схема откачки и заполнения газом электропечи. [3] |
Откачка печи производится бустерным насосом типа БН-1500 и двумя форвакуумными насосами ВН-4Г и ВН-6Г. [4]
Для откачки печи предусмотрены два бустерных насоса БН-4500 и два механических насоса ВН-6Г, одним из которых производят форвакуумную откачку нагревательной камеры и загрузочного и разгрузочного шлюзов. [5]
 |
Техническая характеристика электропечи ОКБ-570Б. [6] |
Схема откачки печи выполнена таким образом, что позволяет остановить любой насос для ремонта или ревизии без нарушения вакуума в печи и прекращения ее работы. [7]
Система откачки печи включает два форвакуумньк насоса: ВН-1Г и ВН-4Г, два бустернык насоса БН-1500, четыре вымораживающие ловушки: две - работающие на жидком азоте и две - на твердой углекислоте. Вакуум замеряется термопарным и ионизационным вакуумметрами, работающими от соответствующих датчиков, расположенных в различных точках вакуумной системы. [8]
Схема откачки печи ( рис. 10) состоит из четырех блоков. Два блока, аналогичные по схеме, состоят каждый из двух форвакуумных насосов ВН-6Г, механического бустера производительностью 1 500 л / сек и бустерного насоса производительностью 15000 л / сек. Они служат для откачки плавильного пространства печи и должны обеспечить надежное поддержание в ней ( постоянного вакуума порядка 10 - 3 мм рт. ст. Аналогичный приведенному выше вакуумный блок, но с бустерным насосом производительностью 4 500 л / сек работает на откачке шлюзовой камеры. Блок, состоящий из насоса ВН-6Г и механического бустера производительностью 1 500 л / сек, откачивает камеру загрузки шихты. Кроме того, в вакуумную схему включен насос ВН-4Г, откачивающий камеру отбора проб и термопары погружения. [9]
Длительная же откачка печи нерациональна, так как это снизило бы и без того весьма небольшую производительность печи. [10]
Для этого откачка печи производится через цапфы с отверстием диаметром 160 мм. На цапфах установлены два бустерных насоса БН-3. Специальные поворотные уплотнения обеспечивают наклон печи при неподвижных насосах. [11]
Возможность - применения для откачки печей с неподвижным кожухом мощных откачных систем с больши ми проходами. [12]
В крышках сделаны отверстия для откачки печи, загрузки, установки датчиков вакуумметров и ввода в печь разного технологического оборудования. Концентрично кварцевой трубе, вне ее в средней ее части устанавливается индуктор. Внутри трубы на уровне индуктора помещается тигель. Теплоизоляция тигля от стенок кварцевой трубы осуществляется обычно керамическими экранами, помещаемыми в зазор между кварцевой трубой и тиглем. [13]
 |
Внешний вид тигля с загрузкой из технического карбида. [14] |
Вакуумная система установки позволяет производить откачку печи до остаточного давления порядка 10 - 5 мм рт. ст. при температуре 2000 С. Это обеспечивает высокую степень чистоты рабочего объема, необходимой для выращивания полупроводниковых монокристаллов карбида кремния. [15]
Страницы: 1 2 3