Cтраница 1
Зависимость концентрации бора в эпитаксиальном слое N д с, возникающей в результате автолегирования, от температуры ( / и концентрации бора в подложке Nn ( 2. [1] |
Переход примеси из подложки в газовую фазу осуществляется одновременно с обеих сторон - рабочей и обратной. Для уменьшения процесса автолегирования обратную сторону подложки маскируют, нанося на нее слой защитного покрытия из оксида кремния ( IV), нитрида кремния или чистого нелегированного полупроводника. Обычно толщина такого слоя составляет 12 - 15 мкм. [2]
Переход примесей в раствор во многом зависит от величины анодной поляризации. [3]
Перехода примеси Fe в GeH4 не наблюдается. Рассматривая стадию синтеза GeH4 как способ химической очистки, по экспериментальным данным рассчитаны коэффициенты разделения и разности в энергиях активации реакций гидрирования; GeCl4 и примесей. [4]
Для понижения степени перехода примесей в аммиачный раствор иногда перед аммиачной обработкой практикуется промывка огарка водой. При этом в водный раствор переходят сульфаты меди и соли щелочных металлов. Концентрация МоО3 в водном растворе составляет 3 - 5 г / л, а иногда и выше. [5]
Условия осаждения должны обеспечивать минимальный переход примеси марганца в осадок. Этому способствует добавление в раствор аммонийных солей и применение для осаждения не слишком концентрированной щелочи, а также содержание в растворе некоторого избытка сульфата железа. [6]
Разработана методика изучения кинетики перехода примесей из расплавленного металла в шлак в зависимости от гидродинамического состояния жидких фаз. [7]
С уменьшением шага наплавки уменьшается переход примесей из основного металла в шов. [8]
В первом случае блокирование вызывает дополнительный переход примеси в приповерхностную зону, во втором - очищение этой зоны от примеси. С уменьшением скорости роста эта тенденция реализуется в большей степени. Если блокирование способствует десорбции примеси с приповерхностной зоны, то в растворе вблизи этой зоны создается сгущение концентрации примеси, тем более значительное, чем больше скорость десорбции и меньше подвижность молекул примеси в растворе. Если же при блокировании происходит дополнительное обогащение приповерхностной зоны примесью, то раствор у поверхности обедняется. Эти особенности распределения примеси в растворе у границы раздела ликвидируются за счет диффузии примеси от поверхности кристалла в объем среды или из среды к поверхности. При достаточно медленном росте диффузия полностью выравнивает состав раствора, в приповерхностной зоне сохраняются только наиболее устойчивые конфигурации и достигается квазиравновесие между поверхностью кристалла и средой. [9]
Схема бес-тигельной плавки. [10] |
Особенно трудно при этом избежать перехода примесей из стенок тигеля в кремний. Поэтому для очистки кремния применяют бестигельный вариант зонной плавки ( рис. 4 - 46), при котором кристалл подвешивают вертикально, а катушка индукционного нагрева медленно перемещается сверху вниз, послойно расплавляя кристалл и оттесняя примеси в его нижнюю часть. В каждый данный момент нижняя часть кристалла удерживается силами поверхностного натяжения. [11]
Классификация учитывает и предсказывает возможность перехода примесей из одной формы в другую, то есть предусматривает динамическую связь между группами и соответственно расширяет область применения методов очистки. [12]
In Т / дг - скорость перехода примеси из горячего потока в холодный за счет термодиффузии; QD WB pJ92 dx / dr - скорость перехода примеси из холодного потока в горячий за счет молекулярной ( концентрационной) диффузии. [13]
Снижение кислотности раствора способствует уменьшению степени перехода примеси Fe в твердую фазу. [14]
В литературе отсутствуют сведения о скорости перехода примесей соединений магния из магнийсодержащих фосфоритов при обработке их раствором фосфорной кислоты, содержащим большое количество ионов магния, который называем далее магнийфосфат-ным раствором. [15]