Диффузионная печь
Cтраница 1
Диффузионные печи характеризуются точностью поддержания температуры в рабочей зоне. У большинства печей точность поддержания температуры составляет ( 0 25 - 0 5) С. Длина рабочей зоны и внутренний диаметр нагревательного элемента определяют производительность диффузионной установки. Для увеличения производительности, более рационального использования производственных площадей и снижения стоимости печей отдельные однотрубные термические камеры объединяют в двух -, четырехъярусные блоки, которые располагают на одном приборном основании. [1]
 |
Четырехтрубная однозонная диффузионная печь СДО-125 / 4А. [2] |
Диффузионная печь СДО-125 / 4А - это компактный агрегат с четырьмя термическими модулями, каждый из которых имеет собственную автоматическую систему терморегулирования. Конструктивно печь состоит из двух частей ( рис. 70): приборного основания и нагревательных камер. [3]
Конвейерная диффузионная печь ФК-12А-2 предназначена для термообработки полупроводниковых пластин диаметром 40 и 60 мм с применением ИК-нагрева. Конструкция печи обеспечивает получение рабочих температур в диапазоне 500 - 1200 С с точностью 1 5 С. Величина равномерной температурной зоны с градиентом 5 С составляет 150 - 200 мм. Конструктивно печь ФК-12А-2 состоит из приборного основания и нагревательного устройства. Внутри приборного основания размещены блок электропитания и система авторегулирования температуры. Нагревательное устройство с уплотняющим корпусом 10 смонтировано в виде отдельного блока ( рис. 71), в который входят термическая камера и транспортирующее устройство на газовой подушке. Термическая камера 3 выполнена из двух разъемных частей, в которых укреплены трубчатые кварцевые лампы. Отражение и формирование лучистого потока в камере происходит с помощью позолоченного экрана. [4]
 |
Схема установки для осуществления диффузии в потоке. [5] |
Оборудование: трубчатая диффузионная печь с рабочей температурой до 1200 С; Pt-Pt / Rh-термопара; кварцевая труба длиной 1 м, диаметром 40 мм со шлифом; кварцевые держатели для пластин и источника бора; приспособление для изготовления косого шлифа; металлографический микроскоп, установка для измерения сопротивления четырехз. [6]
Операция окисления выполняется в диффузионной печи, часто сразу после окончания операции диффузии. Интенсивность окисления убывает с увеличением толщины слоя окисла. [7]
Сложность и высокая стоимость диффузионных печей при ограниченной загрузке пластинами обусловливают необходимость применения в серийном производстве ИС многотрубных печей, в которых кварцевые трубы располагают параллельно друг другу. [8]
Обычное химическое воздействие на операторов диффузионных печей и установок ионного легирования низкое - как правило, ниже допустимых пределов. Озабоченность вызывает вероятность высвобождения токсичных газов. [9]
 |
Схема однозонной диффузионной печи. [10] |
На рис. 1.17 представлена схема однозонной диффузионной печи с источником жидкого диффузанта. Зона диффузии располагается в длинной кварцевой трубе, снабженной нагревателем. [11]
Заключительный этап сплавления протекает в низкотемпературной диффузионной печи с применением атмосферы инертного азота. [12]
 |
Схема однозонной диффузионной печи. [13] |
На рис. 1.17 представлена схема однозонной диффузионной печи с источником жидкого диффузанта. Зона диффузии располагается в длинной кварцевой трубе, снабженной нагревателем. [14]
Страницы: 1 2 3 4 5