Бестигельная зонная плавка
Cтраница 2
Иногда проводят бестигельную зонную плавку тугоплавких веществ. Ее применяют, если нельзя подобрать материал для лодочки, не реагирующий с расплавом. В данном методе пруток очищаемого материала располагают вертикально в вакуумированной камере и создают расплавленную зону с помощью электронного луча. Жидкость удерживает от стекания поверхностное натяжение расплава. [16]
 |
Схема процесса зонной очистки ( а и диаграмма состояния системы с непрерывным рядом твердых растворов ( б. [17] |
Иногда проводят бестигельную зонную плавку тугоплавких веществ. Ее применяют, если нельзя подобрать материал для лодочки не реагирующий с расплавом. В данном методе пруток очищаемого материала располагают верти - кально в вакуумированной камере и создают расплавленную зону с помощью электронного луча. Жидкость удерживает от стекания поверхностное натяжение расплава. [18]
 |
Схема процесса зонной очистки ( а и диаграмма состояния системы с непрерывным рядом твердых растворов ( в. [19] |
Иногда проводят бестигельную зонную плавку тугоплавких веществ. Ее применяют, если нельзя подобрать материал для лодочки не реагирующий с расплавом. В данном методе прутбк очищаемого материала располагают вертикально в вакуумированной камере и создают расплавленную зону с помощью электронного луча. Жидкость удерживает от стенания поверхностное натяжение расплава. [20]
 |
Схема выращивания монокристаллов бестигелыюй. [21] |
Выращивание монокристаллов бестигельной зонной плавкой ( рис. 39) заключается в том, что исходную заготовку закрепляют верхним концом в вертикальном положении. Нижний конец заготовки оплавляется в результате нагрева одновитковым высокочастотным индуктором и к нему снизу подводят затравку. Далее осуществляется перемещение индуктора относительно заготовки и затравки, так что жидкая зона движется снизу вверх. В том же направлении растет монокристалл, развивающийся на затравке. Растущий кристалл и заготовка вращаются в противоположные стороны. Это обеспечивает равномерный прогрев и образование слитка круглого сечения. Затравка и заготовка имеют возможность независимо одна от другой перемещаться в продольном направлении. Это позволяет регулировать диаметр выращиваемого кристалла. Жидкая зона, движущаяся вдоль заготовки, должна иметь небольшую высоту, чтобы поверхностное натяжение могло удержать ее, противодействуя гидростатическому давлению. [22]
 |
Схема установки бестигельной зонной плавки с радиационным нагревом. [23] |
Принципиальная схема установки бестигельной зонной плавки с радиационным нагревом представлена на рис. 6.11. Диаметр обрабатываемого слитка зависит от свойств материала. Так, для кремния, устойчивое многократное проведение процесса зонной плавки возможно при диаметре слитка, не превышающем 20 мм. Поэтому производительность метода невелика. Основным недостатком бестигельной зонной плавки является трудность управления величиной температурного градиента, формой фронта кристаллизации и условиями затравления. Это приводит к тому, что выращенные монокристаллы обладают довольно высокой плотностью дислокаций и неравномерным распределением примесей по сечению кристалла. Главным преимуществом этого метода является возможность получения материалов очень высокой чистоты. [24]
Главное достоинство способа бестигельной зонной плавки заключается в отсутствии тигля-контейнера. Расплав соприкасается только с собственной твердой фазой и газовой средой, создаваемой внутри установки. Поэтому способ пригоден для получения монокристаллов любых материалов, за исключением тех, которые обладают большим давлением пара в жидком состоянии вблизи точки плавления. К таким материалам относится, например, хром, у которого при 1900 С давление пара достигает нескольких миллиметров ртутного столба. [25]
Ом-см ( получен бестигельной зонной плавкой); время жизни носителей в базовой области 50 - 100 икс; толщина фронтального р - слоя 0.4 мкм; толщина тыльного и - слоя 1 - 2 мкм; площадь СЭ 0.8 - 4 см2; ширина контактных полос 28 мкм, толщина 7 - 12 мкм и расстояние между полосами 350 мкм. [27]
В работе [65] описывается бестигельная зонная плавка фторида лития с применением индукционного нагревания. Полученный слиток обладает столь высокой степенью структурного совершенства, что имеет монокристаллическое строение. Аналогичным путем были получены монокристаллы хлорида натрия, а также хлорида, бромида и иодидя калия. [28]
В настоящее время методом бестигельной зонной плавки выращивают монокристаллы гексаферрита бария, ортоферритов и феррогранатов. [29]
Какие преимущества имеет метод бестигельной зонной плавки. [30]
Страницы: 1 2 3 4 5