Cтраница 5
![]() |
Векторная диаграмма токов ( а и эквивалентная схема транзистора с общим эмиттером ( б на высоких частотах. [61] |
При изготовлении диффузионных транзисторов примеси вводятся в пластинку германия способом диффузии, например из газовой среды. За счет этого базу удается сделать весьма тонкой ( 2 - Злк), а предельную ( граничную) частоту довести до 400 - 600 Мгц. [62]
В плоскостном диоде ( б) на пластинку германия наплавляется индий, атомы которого проникают на небольшую глубину в германий и создают тонкий слой с дырочной проводимостью; остальная часть германиевой пластинки имеет электронную проводимость. Полупроводниковые триоды р-п - р имеют с одной ( б) или с двух ( г) сторон германиевого кристалла ( основания) пружинные контакты или индиевые наплавки. [63]
В основе первого метода лежит получение в пластинке германия или кремния слоев противоположной проводимости за 2.1. счет вплавления металла или сплава с повышенным содержанием донорных или акцепторных примесей. Например, для изготовления переходов маломощных кремниевых диодов используются пластинка слаболегированного кремния w - типа и цилиндрический столбик алюминия. В процессе нагрева в вакуумной или водородной печи происходит диффузия алюминия в кремний, причем глубина проникновения контролируется по времени в зависимости от температуры. После охлаждения заготовки вблизи границы металл-полупроводник остается тонкий рекристал-лизованный слой р-типа с большой концентрацией алюминия ( до 10 см) и удельным сопротивлением ( 1 - 10) 10 - Ом.м. В противоположную сторону пластинки вплавляется золотая фольга для создания омического контакта. В дальнейшем полученный вентильный элемент подвергается химическому травлению, промывке и сушке с последующим нанесением защитного покрытия. [64]
Для производства радиотехнических полупроводниковых - приборов обычно применяются пластинки германия толщиной от 0 1 до 0 4 мм и диаметром от 0 1 до 15 мм в зависимости от типа прибора. Эти пластинки имеют по всей поверхности нарушенную монокристаллическую структуру, причем даже после самой тщательной промывки на поверхности всегда остаются микропримеси и оксидные пленки. [65]