Пленка - медь
Cтраница 2
При обезжиривании пленки меди слегка окисляются. Частичное окисление меди происходит при удалении фо-торезистивного слоя. Поэтому при декапировании снимают окислы меди с пленки, обрабатывая ее в растворе персульфата аммония ( 30 г / л) и серной кислоты ( 5 г / л) при комнатной температуре в течение 5 сек. [16]
 |
Схема структурных изменений и строения поверхностных слоев при трении в условиях избирательного переноса. [17] |
Указанные свойства пленки меди, зафиксированные после раскрытия контактной пары, подтверждают высказанные ранее представления [16], согласно которым в процессе трения материал тонких поверхностных слоев находится в состоянии, подобном расплавленному. Полученное авторами значение периода кристаллической решетки пленки меди согласуется с результатами работы [83], в которой такое же пониженное значение периода решетки меди получено в результате быстрой закалки ее из жидкой фазы. Состояние металла, подобное жидкому, обеспечивает легкое взаимное перемещение контактирующих поверхностей и малые значения коэффициента трения и износа. Трение меди о сталь в условиях избирательного переноса можно уподобить скольжению твердого тела по льду, при котором низкий коэффициент трения обеспечивает пленка расплавленного материала. [18]
Степень конформности осаждения пленки меди на топологический рельеф, покрытый барьерным подслоем тантала, по реакции (7.36) зависела от температуры при следующих значениях других операционных параметров: р 40 торр, Q ( H2) - 1000 см3 / мин и расходе реагента меди 0 68 мг / мин. [19]
Селективность процессов ХОГФ пленок меди объясняется катализом реакции осаждения путем передачи электрона от проводящих поверхностей адсорбированным реагентам и его отсутствием на поверхностях диэлектриков. [20]
Проявление селективности ХОГФ пленок меди на проводящих поверхностях относительно диэлектрических поверхностей является правилом для реагентов из класса Cu ( II) за счет различия в поверхностных реакциях. Поэтому реагент Cu ( II) ( hfac) 2 может быть использован для проведения селективного осаждения пленок меди на проводящие слои в переходных отверстиях, сформированных в диэлектрике на основе двуокиси кремния. [21]
 |
Масс-спектрограммы состава остаточных газов ( испарение никеля в. [22] |
Рассмотрим результаты исследований пленок меди и никеля толщиной 25 5 мкм. [23]
 |
S. Влияние пластической деформации на величину актмвационного объема пленок ( / и фольг ( 2 меди. [24] |
После высокотемпературного отжига пленок меди при 400 - 500 С и никеля при 800 - 1000 С их активационные параметры практически не отличаются от соответствующих величин у фольг. [25]
При увеличении толщины пленки меди на стекле и серебра на кварце от 20 до 60 нм имеет место некоторый рост адгезионной прочности примерно в 1 3 раза. [26]
CrFe-вводы гальваническим путем пленкой меди толщиной примерно 20 мк, которая впоследствии вжигается в водородной печи ( со следами Oj или небольшим содержанием Н2О) при 800 - 1000 С в течение 45 мин. При этом хром диффундирует сквозь слой меди и образует зеленую пленку окислов толщиной примерно 0 1 - 1 мк, которая хорошо прилегает к стеклу. [27]
Разложением карбонилов можно получать пленки меди, железа, никеля, свинца, хрома, вольфрама и молибдена. Осаждение из паров можно применять для наиболее тугоплавких материалов при температурах много ниже их точки плавления или при температурах, когда давление паров металлов ничтожно мало. Термическим разложением можно получать также сплавы металлов или Наслаивать один металл на другой путем последовательного осаждения. [28]
В условиях, когда пленка меди со специфическими свойствами и граница раздела сформированы, износ материала практически отсутствует ( установившийся режим трения), основной процесс деформации локализуется в поверхностной пленке, и диффузионное перераспределение легирующих элементов наблюдается в подповерхностных слоях. При этом выравнивается концентрация твердого раствора и происходит диффузионное перемещение атомов легирующих элементов как в сторону поверхности, так и в глубинные слои. Коэффициенты диффузии при деформации трением увеличиваются на несколько порядков [35]; поэтому при трении особое значение приобретает структурная стабильность материала, определяющаяся количеством легирующих элементов. Различные по природе и свойствам легирующие элементы меди при наличии резкого градиента плотности дислокаций в пределах слоя толщиной в несколько микрометров обусловливают особенности механизма контактного взаимодействия. [30]
Страницы: 1 2 3 4