Пленка - молибден
Cтраница 1
Пленки молибдена, полученные при термическом разложении бис-ареповых и арснтрикарбопильных соединений, содержат больше углерода, чем пленки хрома, полученные в тех же условиях из аналогичного типа соединений. Причем повышение температуры в большей степени влияет на содержание углерода в пленках, чем в случае МОС хрома. Полученные термическим разложением МОС пленки хрома обладали значительной механической прочностью и твердостью, повышенной коррозионной и кислотной стойкостью, что отличало их от пленок хрома, получаемых термическим испарением хрома в вакууме. [1]
Изучены свойства пленок молибдена, полученных пиролизом ареповых я-комплексов молибдена в паровой фазе. Полученные при этом металлические пленки молибдена обладали значительной механической прочностью и твердостью, повышенной коррозионной и кислотной стойкостью и высокой адгезией к материалу подложки. [2]
Электронно-микроскопические исследования пленок молибдена на кварце, отожженных в вакууме в течение 15 мин, показалив, что пленки имеют островковую структуру и при толщинах 600 А сплошность их еще отсутствует. В дальнейшем при увеличении количества осажденного металла растет S2, однако вместе с этим происходит выравнивание рельефа ( уменьшение /) и смачиваемость остается приближенно постоянной. [3]
 |
Адгезионная прочность пленок молибдена и ванадия на поверхности Si02. [4] |
Данные в числителе-для пленок молибдена, в знаменателе-для пленок ванадия. [5]
Согласно рис. V9 на алюминиевой поверхности пленка молибдена толщиной выше 2 мм не образуется. Предельная толщина покрытий на стальной поверхности составляет для молибдена 2 0 мм, а для А1203 - 1 05 мм. [6]
Было установлено, что сорбционные свойства пленок молибдена и нержавеющей стали при температуре - 196 С практически близки к сорбционным свойствам иодидного титана. Вместе с тем оба эти металла легкодоступны и имеют значительно меньшую стоимость по сравнению с титаном, что делает их перспективными для использования в охлаждаемых геттерно-ионных насосах. Кроме того, нержавеющая сталь имеет более низкую температуру начала заметного испарения и требует меньшей мощности для испарения, чем титан. Пленки ( налеты), получающиеся в результате распыления материала, из которого изготовлена вакуумная установка, при конденсации на охлаждаемых поверхностях также могут понижать давление в откачиваемом объеме. [7]
В докладе Н.Е. Буяновой былосказано, что нанесением небольших пленок молибдена, вольфрама и других металлов может быть практически снижен потенциал заводских электролизеров при различных процессах. Мне кажется, что на основании результатов, полученных при низких температурах, такой вывод делать нельзя, поскольку промышленный электролиз имеет дело с более высокими температурами. [8]
Реактивы типа щелочных феррицианидов широко применяются для травления пленок молибдена. [9]
В работе [ 4391 предпринята попытка установить содержание углерода в пленках молибдена, полученных термическим разложением Мо ( СО) в при Г00 С и давлении паров карбонила 0 1 мм рт. ст., при котором образуется фаза с кубической грапецентрироваииой решеткой. [10]
Причем повышение температуры в большей степени влияет на содержание углерода в пленках молибдена, чем в пленках пиролитического хрома. [11]
Этот экспериментальный факт, по-видимому, можно объяснить тем, что адгезия пленок молибдена к графиту больше, чем на окисных подложках и, следовательно, сплошность пленки должна наступить при меньшей общей толщине пленки. По-видимому, также нужно учитывать, что при взаимодействии молибдена с графитом образуется карбид молибдена, смачивающийся металлом гораздо лучше, чем окисные соединения молибдена. В системе С - Mo - Sn ( Топ 900 С) критическая толщина равна, как и в системе С - Мо - Си ( Гоп 1150 С), 200 А. Это можно объяснить тем, что уже при температуре 900 С взаимодействие пленки с подложкой настолько велико, что дальнейшее повышение температуры до 1150 С не очень сказывается на структуре пленки. Если взаимодействие пленки с подложкой сильное, то продукты реакции смачиваются хуже, чем металл пленки, критическая толщина сдвигается в сторону больших толщин. Так, в системе С - Fe - Pb критическая толщина при температуре опыта 700 С о составляет 1000 А, а в системе С - V - Sn ( Топ 900 С) со 700 А. Эти данные соответствуют времени отжига пленок не больше 5 мин. При отжиге больше 5 мин получаются нестабильные результаты и критическая толщина сдвигается еще больше в сторону увеличения толщины пленки. Действительно, убыль свободной энергии А / 7 при образовании карбидов молибдена Мо2С и карбида железа Fe3C приблизительно одинакова и равна 0 75 ккал / моль ( 700 С); а для карбидов ванадия она значительно больше - 26, 1 ккал / моль ( 900 С), что находится в хорошем соответствии с полученными данными по смачиванию. [12]
Как видно из электронномикроскопических снимков ( рис. 6, см. вклейку), пленки молибдена одинаковой толщины ( d 600 А) при температуре отжига 900 С обладают большей сплошностью, нежели при температуре отжига 1150 С. При температуре отжига 900 С пленки молибдена наблюдается лишь расчленение некоторых участков пленки, а при температуре отжига 1150 С этой же пленки происходит ее собирание в отдельные острова. [13]
 |
Линейная и мостиковая модели хемосорбированной окиси углерода. [14] |
Например, Леньон и Трепнел [32], сопоставив хемосорбцию окиси углерода и водорода на пленках молибдена и родия, нашли, что величина хемосорбции обоих газов приблизительно одинакова. Это указывало на прикрепление одной молекулы окиси углерода к двум атомам металла, так как известно, что молекула водорода в этих условиях диссоциирует на атомы. Лишь в случае пленок платины и палладия был найден одноцентровый механизм. Однако, согласно данным Стефенса [33], окись углерода адсорбируется на палладии в двух разных формах. [15]
Страницы: 1 2 3