Cтраница 2
Эффективность применения силицидного покрытия не уступает нанесению кварцевой пленки на поверхность стали. Исследования, проведенные Ку-зеевым И.Р., Ибрагимовым И.Г. и Хайрудиновым И.Р., показали, что кварцевое покрытие также примерно в два раза уменьшает адгезию кокса к поверхности металла. Однако метод плазменного напыления менее технологичен для обработки внутренней поверхности труб, чем силицирование. [16]
В этом случае нарушается условие tn 2ta, и кварцевая пленка окрашивается в коричневый цвет из-за присутствия атомов вольфрама. Однако заметного ухудшения электрических свойств не наблюдается. Такие пленки можно использовать как защитные от окисляющего действия кислорода воздуха и от микрофлоры, покрывая ими готовые микросхемы. [17]
Вылавливание из бромистого этила прозрачных, почти невидимых, и притом непрерывно движущихся кварцевых пленок, как уже отмечалось выше, является чрезвычайно тонкой операцией. [18]
На негатив наносят или органическую пленку, которую снимают посредством желатины, или кварцевую пленку. В последнем случае полистироловый негатив растворяют в органическом растворителе. [19]
Прежде всего необходимо тщательно промывать отпечатки после отделения их от полистирола, чтобы полностью удалить следы его с кварцевой пленки. В процессе испарения кварца необходимо следить, чтобы давление под колоколом вакуумной установки не превышало 10 - 4 мм рт. ст. При более высоком давлении накаленная вольфрамовая спираль начнет окисляться, и образующаяся окись вольфрама будет испаряться вместе с кварцем. Осаждаясь на поверхности полистиролового отпечатка, она может образовывать свою собственную структурную пленку. Будучи значительно тяжелее кварца, окись вольфрама даже в незначительных количествах проявляется на отпечатке, создавая заметное изображение в электронном микроскопе, которое может сильно исказить изображение структуры исследуемой поверхности или даже маскировать его. Не следует также впускать воздух под колокол вакуумной установки до полного охлаждения вольфрамовой спирали: преждевременный впуск воздуха вызывает образование на поверхности испарителя окиси вольфрама, которая при последующем напылении кварца испаряется и осаждается на полистироловом отпечатке. Поэтому целесообразно применять предварительный прогрев спирали до напыления кварца, используя заслонку, помещаемую между испарителем и образцом на время прогрева. Как было сказано выше, при испарении кварца из вольфрамовой спирали частично испаряется и вольфрам, что вызывает усиление контраста кварцевого отпечатка. Плохой вакуум при наличии вольфрама в кварцевой пленке приводит к образованию крупнозернистой структуры, выявляемой при больших увеличениях и искажающей действительную структуру исследуемого образца. [20]
Давление, при котором производится напыление кварца на исследуемую поверхность, должно быть не выше 10 - 4 мм рт. ст. При более высоком давлении кварцевая пленка получается рыхлой, что приводит к ослаблению ее механической прочности. [21]
Полимерные пленки получают при испарении тонких слоев растворов полимеров, нанесенных на поверхность воды или стекла. Углеродные и кварцевые пленки получают распылением материалов в электрической дуге в специальных вакуумных установках. Пары углерода и кварца осаждают на чистые стеклянные пластинки, покрытые слоем полимера, на поверхность слюды или монокристаллов хлорида натрия. Затем пленки отделяют от поверхности и переносят на поддерживающие сетки. Такие пленки в отличие от полимерных устойчивее к действию электронного луча и химически инертны. К недостаткам углеродных пленок следует отнести их гидрофобность. [22]
Предварительно кварцевую пленку процарапывают на квадратики со стороной 3 - 4 мм. После растворения подложки пленки кварца освобождаются и могут быть выловлены на сеточки для дальнейшей промывки, сушки и монтажа в объектодержателе. [23]
После испарения растворителя ( бензола) на пластинку напыляют кварц. Для отделения кварцевой пленки пластинку помещают в сосуд с бромистым этилом. Отделившиеся кварцевые пленки, предварительно нанесенные на квадратики, вылавливают на сетки и переносят для промывки от следов полистирола в сосуд с бромистым этилом, смешанным с 10 - 20 % бензола или изоамилового спирта, после чего пленки просушивают. [24]
Получаемые кварцевые пленки чисты, достаточно прозрачны для электронов, обладают хорошей механической прочностью, стойки по отношению к электронной бомбардировке. Большим преимуществом кварцевых пленок является их высокая химическая устойчивость. На них можно помещать частицы, взвешенные в органических растворителях, что, как правило, совершенно исключается в случае органических пленок-подложек. [25]
При образовании на поверхности защитного слоя пленки, состоящей из SiO2, окисление практически прекращается. Выше 1700 С кварцевая пленка расплавляется и под действием собственного поверхностного натяжения собирается в капли и обнажает очередные слои силицида, начинающего интенсивно окисляться. [26]
Отделяют кварцевую пленку от рентгеновской пленки-реплики растворением последней в ацетоне. Для того чтобы тонкая кварцевая пленка при этом не разрушилась, ее с поверхности укрепляют парафиновой пленкой, которая затем легко растворяется в толуоле. В итоге получают вторичную кварцевую пленку-реплику с первичной органической реплики. [27]
Так как кварцевые пленки в достаточной степени прозрачны и бесцветны, то вылавливание их из жидкости, в которой их про - мывают или отделяют от стекла, рекомендуется проводить при боко-ком освещении, помещая под сосуд с пленками пластинку из красного или черного стекла. Это несколько затрудняет обращение с кварцевыми пленками и репликами. [28]
Слепок из полистирола отделяют от микрошлифа и помещают в вакуумную камеру, в которой на негативную поверхность путем распыления кварца, нагретого вольфрамовой спиралью, осаждают тонкую пленку - позитивное изображение микрошлифа. Затем полистироловый негатив растворяют в бромистом этиле, а отделившуюся кварцевую пленку вынимают с помощью объект-диафрагм. Кварцевая пленка является прозрачной для электронов, которые рассеиваются различным образом в местах выступов или впадин и дают изображение, соответствующее структуре металла. [29]
Слепок из полистирола отделяют от микрошлифа и помещают в вакуумную камеру, в которой на негативную поверхность путем распыления кварца, нагретого вольфрамовой спиралью, осаждают тонкую пленку - позитивное изображение микрошлифа. Затем полистироловый негатив растворяют в бромистом этиле, а отделившуюся кварцевую пленку вынимают с помощью объект-диафрагм. Кварцевая пленка является прозрачной для электронов, которые рассеиваются различным образом в местах выступов или впадин и дают изображение, соответствующее структуре металла. [30]