Толстая пленка
Cтраница 3
В толстой пленке цвета побежалости исчезают, так как происходит поглощение света вследствие малой прозрачности пленки. [31]
 |
Основные типы химического парофазного осаждения кремния. [32] |
Тонкие или толстые пленки могут также испаряться или осаждаться на различных керамических или стеклянных подложках. [33]
В случае толстых пленок связь между Р и А оказывается циклической, и экспериментальные точки по мере роста пленки перемещаются в последовательности А - В С - О... Пунктирная линия, соединяющая показанные экспериментальные точки ( всего в этом эксперименте было снято 1800 точек) представляет теоретическую кривую для растущей пленки с пг 1 7 и шагом по толщине от 10 А до 2540 А. [34]
В случае толстых пленок ( d 1 мкм), в которых кислород образует высокоомные прослойки только в верхнем слое толщиной окисл, можно оценить с окисл по изменению сопротивления пле-лок после отжига, приписав увеличение сопротивления только уменьшению эффективного сечения пленки. [36]
В случае толстых пленок ( d 1 мкм), в которых кислород образует высокоомные прослойки только в верхнем слое толщиной окисл. [38]
Рентгеновские исследования толстых пленок ( более 100 слоев) дали интересное косвенное подтверж дение существования гексатической фазы. В веществе 650ВС была обнаружена новая трехмерная жидкокристаллическая фаза [13], которую можно рассматривать как стопку двумерных гексатических слоев. [39]
Химический анализ толстых пленок окислов, образующихся на металле, является, естественно, очень важным методом исследования и определения продуктов окисления; в действительности это стандартный метод, используемый многими исследователями. Если образуются различные слои, то часто оказывается, что их можно разделить и затем проанализировать по отдельности. Во многих случаях удается определять разницу в составе наружных и внутренних слоев окалины, выявляя влияние температуры на повышение содержания металла в окис-гтах. Помимо рассмотрения этих моментов и подчеркивания их важности, никаких иных сведений более полного характера об использовании химического анализа при изучении явлений окисления приводить здесь не предполагается. [40]
При превращении толстой пленки в тонкую наряду с обычной упругостью появляется дополнительная составляющая, связанная с взаимодействием поверхностных слоев пленки. [41]
При травлении толстых пленок, полученных гальваническим осаждением, требуется усиление фоторезнстнвной маски, чтобы исключить проколы из-за развитой поверхности осадков. Кроме того, травление пленок может быть неравномерным из-за пористой и крупнозернистой структуры осадков. Поэтому схемы, к выходным параметрам которых предъявляются повышенные требования, целесообразно изготавливать по данному маршруту, используя толстые пленки, полученные термическим испарением в вакууме. В этом случае пленки отличаются высокой плотностью и однородностью, их удельное сопротивление с точностью до погрешности измерения равно удельному сопротивлению массивного образца меди. Поэтому потери в СВЧ диапазоне будут минимальными, а травление слоев равномерным. [42]
В случае толстой пленки ее разбрызгивание определяется в основном характером периодического движения подвижного электрода. [43]
Нанесение таких толстых пленок возможно лишь путем многократного наслаивания с промежуточным прогревом - упрочнением при 400 - 700 С после нанесения каждого слоя. [44]
 |
Ориентировочные режимы экструзии плоских пленок из полиолефинов. [45] |
Страницы: 1 2 3 4 5