Cтраница 5
В литературе можно встретить сообщения, посвященные масс-спектрометрическому анализу тонких металлических пленок. В них, как правило, глубина эрозии пробы значительно превышает толщину пленки, и в спектре масс присутствует большое количество атомов, относящихся к материалу подложки. Поэтому подобный метод анализа тонких пленок аналогичен идентификации поверхностных загрязнений. [61]