Плотность - ионный ток
Cтраница 3
 |
Области стока зарядов и тени зонда при т 0 ( а и т1 1 ( б. [31] |
Таким образом, при q3Q, что соответствует точной компенсации пространственного потенциала, оказывается возможным измерение плотности ионного тока ( при т0, / 34ар / г. 0) только при их прямом ходе от провода. [32]
Так как те С mf, то bt C be и при равенстве пе - п, плотности электронных и ионных токов удовлетворяют неравенству / еЗ / т.е. ток в плазме переносится в основном электронами. [33]
 |
Переходный процесс изменения напряжения при резком изменении силы тока в электролитической ячейке с танталовым анодом в 2 раза. Пунктиром представлена экстраполяция к стационарному процессу. [34] |
Наблюдаемые переходные процессы хорошо воспроизводятся и не зависят от характера обработки поверхности анода, толщины оксидного слоя, плотности ионного тока и температуры и определяются только отношением начальной и конечной плотности тока. [35]
 |
Конструкция датчика импульса отдачи. 1 - съемная металлическая мишень, 2 - кольцо, 3 - шарик, 4 - поршень ( капролон, 5 - корпус датчика, 6 - пружина, 7 - крышка, 8 - цилиндрическая катушка, 9. [36] |
Использование такого датчика в экспериментах по генерации и фокусировке мощного ионного пучка [53] позволило определить, что для плотности ионного тока 1 2ч - 1 6 кА / см2 и энергии ионов до 660 кэВ средние значения давления, развиваемого при разлете газоплазменного факела, лежали в пределах 1 4 - 1 7 кБар ( Р Др / ( 5т), где А. [37]
При ионном внедрении движение ионов и их распределение в полупроводнике определяются параметрами процесса: энергией ионов Е; плотностью ионного тока в пучке J и дозой облучения Q Jt, где t - время облучения. J 0 1 - f - 100 мкА / см2; Q 6 1011 - - 6 X X Ю17 см-2; глубина слоев 0 1 - ч - 0 4 мкм. [38]
 |
Схема питания имплан-тера ДИАНа. [39] |
К особенностям импульсно-периоди-ческих пучков следует отнести ббльшую по сравнению с непрерывными пучками, и в частности с источником Пеннинга, плотность ионного тока и наличие большого количества многозарядных ионов. [40]
К особенностям импульсно-периоди-ческих пучков следует отнести большую по сравнению с непрерывными пучками, и в частности с источником Пеннинга, плотность ионного тока и наличие большого количества многозарядных ионов. [41]
Произведения ординат кривых на рис. 1 - 5 и рис. 1 - 6 в сходственные моменты времени для соответствующих радиусов, умноженные затем на подвижности, определяют плотности ионных токов переноса, обусловленных движением положительных и отрицательных ионов в электрическом поле. [42]
Для достижения больших скоростей осаждения необходимо снизить давление в рабочей камере, с тем чтобы свободный пробег атомарных частиц был больше расстояния мишень - подложка, а также повысить плотность ионного тока на мишень. С этой целью в разрядную камеру вводится накальный катод, что обеспечивает возникновение разряда при напряжении 100 В Давление в камере понижается до К) - 1 - 10 - 2 Па, что резко увеличивает длину свободного пробега частиц. Накальный катод эмиттирует поток электронов, которые ионизируют остаточный рабочий газ, поддерживая разряд. При подаче на мишень большого отрицательного смещения относительно катода на нее вытягиваются положительные ионы плазмы, в результате чего происходит распыление мишени. В такой системе электрические цепи разряда и распыления развязаны, это обеспечивает гибкость управления процессом распыления. При катодном распылении давление рабочего газа, необходимое для поддержания разряда, относительно велико ( 1 - 10 Па) и вероятность загрязнения пленки повышается. При ионно-плазменном распылении давление ниже ( Ю-1 - 10 - 3 Па), но для поддержания газового разряда нужны специальные устройства. [43]
 |
Профиль энерговыделения ионов углерода в пористой алюминиевой мишени. [44] |
В следующий момент времени t - t At процедура расчета повторяется с учетом изменения распределения p ( x r t) и e ( x r, t), a также значения ускоряющего напряжения и плотности ионного тока. [45]
Страницы: 1 2 3 4