Cтраница 4
Наибольшее внимание было обращено на дефекты упаковки типа вычитания, и расчеты, выполненные на основе идеализированной модели, показали, что такие дефекты должны приводить к уширению и смещению линий на рентгенограмме. Результаты опубликованных работ показывают, что в металлах преобладают дефекты упаковки типа вычитания. Однако в некоторых других материалах, например в кремнии [1, 2], энергия дефектов упаковки внедрения и вычитания может иметь практически одинаковые значения. К этому следует добавить, что если рассматривать менее идеализированные случаи, когда распределение плотности дефектов упаковки в пределах образца изменяется, то предсказание общей картины при рентгеноструктурном анализе становится очень сложным. Тем не менее рентгенострук-турный анализ является наиболее употребительным средством для сравнения характера изменения дефектов упаковки различных металлов и сплавов в зависимости от состава и температуры. [46]
ЭПД в области умеренных степеней деформации носит менее однородный характер, чем при обычной деформации. В образцах, подвергнутых ЭПД, реализуются более высокие скорости формирования дислокационных структур, быстрее формируются полосовые структуры, характерные для сильно деформированных металлов. В условиях воздействия ИЭТ формируются те же типы структур, что и при обычном деформировании, но не образуется ячеисто-сетчатая субструктура. При ЭПД и обработке деформированного никеля ИЭТ существенно уменьшается коэффициент та, характеризующего сопротивление сдвигу и деформированию за счет упрочнения кристаллической решетки. При ЭПД плотность дефектов упаковки ( ДУ) уменьшается в 10 раз. Размер карбидов в сталях увеличивается. [47]
![]() |
Зародыши роста Si на подложке Si. Нормаль к поверхности подложки близка к. [48] |
Захлопывание диска вакансий происходит с появлением кольцевой сидячей дислокации Франка. Дислокация Франка обладает высокой энергией. Если в материале имеются шримеси, то они могут мигрировать к дислокациям, снижая энергию дефекта упаковки. Вследствие этого вероятность образования дефекта упаковки в присутствии атмосферы примесей возрастает. При большой скорости роста, когда замуровывается большое число вакансий, плотность дефектов упаковки может быть весьма значительной. [49]
Поверхность растущей пленки совершенно точно воспроизводит поверхность исходной подложки, на ней проступают царапины, углубления и другие механические дефекты. Нарушение температурного режима при выращивании эпитаксиальной пленки также приводит к увеличению структурных дефектов в пленке. Если газ-носитель ( в частности водород) недостаточной степени чистоты, то поверхность подложки загрязняется. Для очистки водорода следует применять палладиевые фильтры. Найдено [108], что плотность дефектов упаковки линейно зависит от скорости роста слоев, прячем при скорости роста 0 1 мкм / мин дефекты упаковки практически отсутствуют, а при скорости выращивания 1 мкм / мин количество их велико. [50]