Cтраница 3
В фотолитографии химические изменения в фоторезисте инициируются светом. Эти изменения вызывают разрыв ( или образование) ковалентных связей в светочувствительных химических группах, закрепленных на полимерной структуре. Изменения в связях приводят к локальному увеличению ( или уменьшению) растворимости фоторезиста в подходящем растворителе. Воздействие света через маску приводит к формированию образа маски, который может быть проявлен простым промыванием. Обычно, однако, забывают, что эта простота достигается тщательным конструированием полимера с определенным фотохимическим поведением. [31]
В фотолитографии химические изменения в фоторезисте инициируются светом. Эти изменения вызывают разрыв ( или образование) ковалентных связей в светочувствительных химических группах, закрепленных на полимерной структуре. Изменения в связях приводят к локальному увеличению ( или уменьшению) растворимости фоторезиста в подходящем растворителе. Воздействие света через маску приводит к формированию образа маски, который может быть проявлен простым промыванием. Обычно, однако, забывают, что эта простота достигается тщательным конструированием полимера с определенным фотохимическим поведением. [32]
Значение естественного времени жизни ( / г я) - состояния относительно велико ( t / 10 - 6c) из-за низкой вероятности перехода в это состояние. Более того, в результате слабого пространственного перекрывания п - и л-ор-биталей различие между энергиями 1 ( п п) - и 3 ( п я) - состояний мало. Состояние 3 ( п я) очень реакционноспособно, - что связано не только с его большим временем жизни, но и [ по аналогии с ( п я) - состоянием ] со значительной локализацией неспаренных электронов. Такие триплеты реагируют подобно свободным радикалам. Поэтому в случае красителей, самое нижнее состояние которых 3 ( п л), может осуществляться иной путь фотохимической реакции по сравнению с аналогичными красителями с 3 ( л я) - состоянием. Так как на взаимное расположение п, л - и л л - состояний оказывает влияние среда и характер заместителей, фотохимическое поведение молекулы может в корне меняться при небольших изменениях ее строения и природы растворителей. [33]