Cтраница 4
К первой группе относятся методы так называемой взрывной фотолитографии, при использовании которых линейная погрешность из-за подтравливания технологического слоя также положительна. Вторая более многочисленная группа процессов включает в себя традиционные методы последовательной и селективной фотолитографии и характеризуется отрицательным значением линейной погрешности. Очевидно, что в каждом конкретном случае знак линейной погрешности определяется соотношением погрешностей всех стадий процесса, но поскольку абсолютное значение погрешности при травлении значительно больше, чем всех предыдущих вместе взятых стадий процесса, знак линейной погрешности обычно совпадает со знаком погрешности при травлении. [46]