Подтравливание
Cтраница 1
 |
Схема подтравливания на границе подложка - резист, обусловленного потерей адгезии. [1] |
Подтравливание на границе резист-подложка, обусловленное недостаточной адгезией, схематически изображено на рис. 1.31; показан и результирующий профиль. [2]
Подтравливание окисла в процессе осаждения также может быть объяснено с помощью данной модели. При выполнении неравенства ( 4) маска из Si02 оказывается нестабильной фазой в контакте с кремниевой подложкой. Поэтому в условиях избирательного осаждения происходит подтравливание маски, что нами и наблюдалось. [3]
Подтравливание серебра заметно при использовании хромовой кислоты и особенно персульфата аммония. [5]
Подтравливание основного металла при низких значениях анодной плотности тока происходит за счет его медленного растворения в пассивном состоянии. [6]
Иногда подтравливание катализаторов дезактивирующими добавками не только снижает их активность, но и вообще выключает некоторые функции катализаторов; в результате многостадийную реакцию можно остановить на какой-либо из промежуточных стадий. Такое отравление катализаторов названо благоприятствующим. [7]
 |
Подтравдивание п ских резистов показана на. [8] |
Явление подтравливания нужно учитывать и при изготовлении фотооригиналов, особенно для плат с толстым слоем металлизации, высокой четкостью изображения и тонкими линиями. [9]
Эффект подтравливания можно уменьшить, если увеличить напряжение на рентгеновской трубке; заряжать пластину до максимального потенциала; облучать сварной шов возможно меньшей дозой; размещать экраны из свинца на границе сварного шва для уменьшения поверхности облучения. [10]
 |
Зависимость разности скоростей подтравливашш и горизонтального травления от концентрации хлористого водорода при 1200 С. 1 - гипотетическая кривая из сопоставления кривой е с 1 - 5 ( 2. j. [11] |
Наличие щелеобразного подтравливания, которое в сильной степени зависит от температуры, можно объяснить возрастанием отношения Frop / FBcpT от 1 4 - 1 7 до 2 0 - 2 2 при увеличении температуры от 1000 - 1100 до 1200 С соответственно. [12]
Значительно уменьшить подтравливание ( в два и более раз) можно, используя ингибиторное ( защитное) действие ПАВ в случае струйной или пенной подачи раствора на обрабатываемую поверхность. Механизм селективного ингибирования торцов фольги у края маски объясняется следующим. Благодаря сопутствующему механическому действию тонких струй или бурлящей пены раствора травление в пробельных местах совмещено с интенсивным удалением шлама с открытой поверхности. В условиях гидродинамического воздействия молекулы ПАВ не удерживаются на участках фольги, перпендикулярных потоку. [13]
Имеет место сильное подтравливание на всей плате, связанное с природой метода травления и материала. [14]
На величину подтравливания оказывает влияние положение деталей в растворе. [15]
Страницы: 1 2 3 4