Cтраница 4
Окалина со сплава ЭИ435 при электролизе удаляется за счет подтравливания основного металла под окалиной при анодной поляризации и облегчается механическим воздействием выделяющегося газообразного кислорода. [46]
На рис. 5.7 - 5.10 показано изменение ширины проводников, подтравливание и разрастание при каждом варианте процесса. Одним из факторов, стимулирующих эти явления, считается электрохимическое действие покрытия, образующего металлический резист, которое во время травления создает гальваническую пару. [47]
![]() |
Конструкция бескорпусного диода с барьером Шотки с прижимным проволочным выводом ( а и разрез полупроводниковой структуры в области. [48] |
При этом необходимо обеспечить полное удаление остатков травителя, избежать подтравливания защитного слоя по периметру окон, приводящего к увеличению емкости, и не допустить образования оксидной пленки на поверхности эпислоя, которая нарушает контакт между металлом и полупроводником и ухудшает шумовые свойства диода. [49]
Размеры печатных проводников и контактных площадок устанавливаются с учетом величины подтравливания. На рабочем поле фотошаблона не допускаются ореолы, пятна, точки, разрывы, полосы и другие видимые дефекты. Фотошаблон должен быть износостойким, иметь минимальную деформацию при изменении температуры и влажности окружающей среды, а также в процессе производства. В большей степени перечисленным требованиям удовлетворяют сверхконтрастные фотопластинки типа Микрат-НК и полированные силикатные стекла с металлизированными поверхностями, на которых получают контрольные фотошаблоны. [50]
![]() |
Зависимость длительности травления от концентрации растворенной меди при использовании в качестве травителя раствора FeCl3 с плотностью по 42 Боме, разбавленного водой и соляной кислотой ( 30 %. [51] |
Для увеличения влияния травления ( отношения глубины травления к величине подтравливания) используют порошковые методы травления с введением добавок, например тиомочевины. [52]
При эксплуатации электролитов золочения в них накапливаются примеси в результате подтравливания обрабатываемых деталей, а также внесения с остатками промывной воды на их поверхности. Это оказывает влияние как на внешний вид покрытий, так и на их функциональные свойства. Металлы, образующие комплексные соединения с цианидом, такие, как медь, серебро, могут включаться в покрытие. В первом случае снижается стойкость против коррозии, во втором - повышается твердость и износостойкость осадка, он становится полублестящим. Примеси сурьмы, мышьяка, свинца в количестве около 1 г / л могут вызвать потемнение покрытия, формирование рыхлых осадков. [53]
При рутенировании латуни и меди в сульфатных и нитрозо-хлоридных электролитах происходит подтравливание подложки, что приводит к уменьшению прочности сцепления рутения с покрываемым металлом. Поэтому целесообразно осаждать рутений по подслою серебра, золота или палладия толщиной 0 5 - 1 5 мкм. [54]
При изготовлении элементов управляющего покрытия возможно появление дефектов, таких как подтравливание отдельных элементов, что приводит к изменению их геометрических размеров и зазоров между ними и снижает, как правило, значение ЛЯМИН. [55]
Они установили, однако, что растворы хлорного железа заданной концентрации создают наименьшее подтравливание на пленках меди толщиной от 0 025 мм до 0 075 мм. [56]
При этом карбиды сильно вытравливаются, в то время как а-фаза вследствие легкого подтравливания располагается ниже ферритной матрицы. При термическом травлении при 500 С в течение 5 мин карбид темнеет, феррит окрашивается в цвета от желтого до коричневого, а cr - фаза остается светлой. Этим методом выявляют обедненные хромом области вокруг карбидов и сг-фазу по различию в степени потемнения. Термическое травление позволяет также определять размеры карбидных частиц. Карбиды по границам зерен остаются светлыми, если их размер не превышает определенную величину. [57]
![]() |
Растворимость металлов. [58] |
При травлении плазменным способом с помощью цилиндрическо го генератора не удается избежать некоторого подтравливания, поскольку механизм травления близок к механизму химической реак ции. С другой стороны, при травлении разбрызгиванием с помощью плоско параллельного генератора обеспечивается определенная на-правленность и величина подтравливания незначительна. Исследуется также способ ионного травления, близкий по механизму к физическому взаимодействию. [59]
Как показали исследования, проведенные во ВНИИ-метмаше, целесообразно после промывки проводить операцию подтравливания в растворе соляной кислоты ( 50 г / л) для более полного удаления сернокислых солей железа перед флюсованием. [60]