Получение - кремний
Cтраница 1
Получение кремния основано на восстановлении магнием, алюминием или углем двуокиси кремния или галогенидов кремния при нагревании. Щелочные металлы менее пригодны для этого восстановления, хотя впервые кремний был получен при помощи калия. В зависимости от условий опыта получают продукты, довольно различные по внешнему виду и по свойствам. [1]
Получение кремния из кварцитов осуществляется за счет восстановления его углеродом. Углеродистые восстановители содержат значительное количество примесных веществ, и опыт работ электротермических цехов показывает, что переход примесных элементов в кристаллический кремний из углеродистых восстановителей при плавке составляет большую величину. Именно поэтому для повышения качества кристаллического кремния целесообразно применять малозольный восстановитель с отсевом мелких фракций ( до 5 мм), содержащих как правило, включения песка и глины, попадающих в углеродистый восстановитель при транспортировке и хранении. [2]
Получение кремния основано на восстановлении магнием, алюминием или углем двуокиси кремния или галогени-дов кремния при нагревании. Щелочные металлы менее пригодны для этого восстановления, хотя впервые кремний был получен при помощи калия. В зависимости от условий опыта получают продукты, довольно различные по внешнему виду и по свойствам. [3]
Получение кремния и силанов. [4]
Получение кремния высокой степени чистоты затрудняется вследствие взаимодействия его с огнеупором, в котором плавят кремний. Цинтль с сотрудниками [30] показал, что при температуре 1450 расплавленный кремний реагирует в вакууме с шамотным или цирконовым ( ZrSiO4) тиглем, а при реакции с окислами образуется соответствующий металл и газообразный SiO. При удалении продукта реакции ( паров SiO) реакция восстановления окислов металлов кремнием протекает интенсивно. [5]
Для получения кремния электротермическим способом используют обычные печи, так же как и для получения карбида и карборунда. В этом случае образуется промежуточный продукт CaCj, который является прекрасным восстановителем и значительно облегчает получение кремния. [6]
Для получения кремния электротермическим способом используют обычные печи, так же как и для получения карбида и карборунда. В этом случае образуется промежуточный продукт СаС2, который является прекрасным восстановителем и значительно облегчает получение кремния. [7]
Для получения кремния обычно применяют силан и различные хлорсиланы. Преимущество использования силана состоит в том, что осаждение можно проводить при низких температурах. Однако применение относительно дешевых хлорсиланов обеспечивает более высокую скорость роста пленок вследствие повышенной температуры осаждения. Получаемые пленки Si имеют эпитаксиальную монокристаллическую, поликристаллическую или аморфную структуру. В качестве материалов для подложек при выращивании кремниевых пленок используют различные виды кремния, от монокристаллического до поликристаллического металлургического, а также графит, нержавеющую сталь, сапфир и кварц. [8]
Для получения кремния с собственной проводимостью концентрация электрически активных примесей должна быть менее чем 1010 см-3. Это является сложной технической задачей. [9]
Для получения кремния высокой чистоты, пригодного для изготовления диодов и триодов, обычно производится очистка тетрахлорида кремния. Лайон, Ольсон и Льюис [6] описали метод восстановления тетрахлорида кремния цинком. [10]
Для получения кремния высокой степени чистоты применяется метод зонной плавки. Он основан на различной растворимости примесей в жидкой и твердой фаз ах. Кремниевый стержень нагревателем расплавляют в узкой зоне. При движении нагревателя, например, слева направо, расплавленный участок стержня постепенно кристаллизуется, а соседний - плавится. Примеси растворяются в расплавленном веществе и перемещаются вдоль стержня вместе с зоной. Медленно продвигая нагреватель, большую часть примесей оттесняют к концу стержня, который затем отрезают. [11]
Для получения кремния высокой степени чистоты применяется метод зонной плавки. Он основан на различной растворимости примесей в жидкой и твердой фазах. Кремниевый стерженв нагревателем расплавляют в узкой зоне. При движении нагревателя, например слева направо, расплавленный участок стержня постепенно кристаллизуется, а соседний - плавится. Примеси растворяются в расплавленном веществе и перемещаются вдоль стержня вместе с зоной. Медленно продвигая нагреватель, большую часть примесей оттесняют к концу стержня, который затем отрезают. [12]
 |
Технологическая схема получения кремния с попутным производством кварцевых. [13] |
Процесс получения кремния термическим разложением силана имеет много общего с производством стержней кремния водородным восстановлением хлорсиланов, но в то же время имеются и существенные отличия. [14]
 |
Температурные зависимости удельного сопротивления германия при различном содержании донорной примеси. [15] |
Страницы: 1 2 3 4