Получение - кремний
Cтраница 3
Например, для получения кремния высокой степени чистоты применяется метод зонной плавки. Он основан на различной растворимости примесей в жидкой и твердой фазах. Кремниевый стержень расплавляют в узкой зоне нагревателем. При движении нагревателя, например, слева направо расплавленный участок стержня постепенно кристаллизуется, а соседний - плавится. Примеси растворяются в расплавленном веществе и перемещаются вдоль стержня вместе с зоной. Медленно продвигая нагреватель, большую часть примесей оттесняют к концу стержня, который затем отрезают. [31]
Обычная химическая технология получения кремния ( восстановление SiO2 в электрической дуге между графитовыми электродами) дает материал, содержащий до 2 % примесей, для микроэлектроники совершенно непригодный. Исходный чистый кремний ( не более одного атома примесей на сто миллионов, а то и на миллиард своих атомов) получают при помощи весьма сложных физико-химических и физических процессов. При этом кремний получается в поликристаллической форме, для микроэлектроники же требуется монокристаллическая, т.е. сплошной кристалл. [32]
Электролиты, применяемые для получения кремния, после некоторой корректировки могут быть использованы и для получения силицидов. Иногда для получения силицидов удобно применять жидкий металлический катод. [33]
В качестве восстановителя для получения кремния часто применяют кокс. [34]
 |
Зависимость степени разложения а силаиа от температуры. [35] |
Одна из отличительных особенностей получения кремния при разложении силана - гораздо большее пересыщение паров кремния Р / Р ( см. гл. [36]
История разработки электротермических методов получения кремния поучительна с точки зрения роли размеров той аппаратуры, которой пользуется исследователь. [37]
Какие еще существуют способы получения кремния. [38]
Что касается восстановления кремнезема для получения кремния или ферросилиция, точно неизвестно, протекает ли реакция между коксом и жидкой фазой или коксом и газовой фазой недокиси кремния. При этом часто отмечают преимущества коксов, полученных из шихт с повышенным участием пламенных или тощих углей, но это может быть также с успехом объяснено повышенным электросопротивлением, которое дает наилучшее распределение тепла в печи. В общем сопротивление кокса и его реакционная способность изменяются одновременно, так что трудно различить относительные роли этих факторов. [39]
Важными направлениями в совершенствовании технологии получения кремния являются использование чистых по примесям шихтовых материалов, особенно кварцевых песков, и снижение расхода электроэнергии за счет использования тепла остывающих печей. [40]
Во всех случаях исходным сырьем для получения кремния служит кварцевый песок, восстанавливаемый коксом в дуговых печах с графитовыми электродами. Получается продукт с 3 % примесей. После этого легированием продукта и направленной кристаллизацией получают материал, пригодный для приготовления неприхотливых диодов, используемых в локационной и ультракоротковолновой радиотехнике. [41]
 |
Зонная очистка. [42] |
Впервые этот метод был использован для получения кремния и германия высокой чистоты. [43]
Ко времени опубликования работы Лауритцена технология получения кремния была разработана достаточно хорошо и кремниевые планарные транзисторы стали общедоступными. Битва за получение малошумящих транзисторов, судя по всему, была выиграна. [44]
Как значительный прогресс в области технологии получения кремния ( в особенности эпитаксиальных слоев высокого качества), так и то, что ширина его запрещенной зоны хорошо согласуется с энергией кванта лазеров на нердимовом стекле ( К 1 06 мкм), обусловили выбор кремния в качестве материала для лавинных фотодиодов. В литературе имеются сообщения об устройствах, в которых используются разнообразные варианты структур р - п или р - i - п Для эффективной регистрации с помощью таких устройств требуется, чтобы в области перехода не было дислокаций и дефектов, что позволяет избежать преждевременного пробоя. [45]
Страницы: 1 2 3 4