Продувка - реактор
Cтраница 2
 |
Схема установки адиабатического дегидрирования алканов. [16] |
После окончания рабочего периода проводится продувка реактора. Затем следуют регенерация и откачка до рабочего давления, после чего реактор готов для повторного включения в процесс. [17]
Для обеспечения чистоты теплоносителя производят продувку реактора. В процессе продувки часть воды из реактора направляют в установку для очистки и поддерживают в реакторе концентрацию продуктов коррозии на уровне растворимости с тем, чтобы из продуктов коррозии не образовывались шламы. Желательно также, чтобы продукты коррозии вообще не переходили в коллоидальную форму. [18]
В конце промывки рекомендуется произвести продувку реакторов, состоящую в том, что вода в реактор подавалась снизу вверх. При такой продувке происходит взрыхление слоя ионитов и удаление мелкого осадка, который, возможно, отлагается на поверхности ионитов. [19]
 |
Эпитаксиальные структуры. а - типа р - р. б - тийа п-п. в - типа р - п. е - типа п-р. [20] |
В эпитаксиальной установке предусмотрены некоторые дополнительные операции: продувка реактора азотом и неглубокое травление поверхности кремния в парах НС1 с целью очистки поверхности подложки. [21]
При высоких скоростях осаждения и низких скоростях откачки или продувки реактора концентрация газообразных конечных продуктов реакции у поверхности подложки и в объеме реактора может становиться настолько высокой, что будет затруднять доставку исходных реагентов к поверхности граничного слоя и их диффузию через граничный слой к поверхности подложки. [22]
Время цикла осаждения зависит от скорости насыщения поверхности подложки реагентами, объема и конструкции реактора и длительности цикла откачки или продувки реактора. [23]
При оптимальном выборе циклов подачи реагентов: ТМА - 0 4 с, озона - 2 5 с и циклов продувки реактора аргоном по 3 секунды, была получена цикловая скорость осаждения пленки А12О3 0 08 нм / цикл. [24]
При достижении температуры в реакторе 200 С прекращают работу печи, проводят дальнейшее снижениние температуры в реакторе за счет паровоздушного потока, обеспечивают продувку реактора воздухом без водяного пара. При температуре 40 С в реакторе производят его вскрытие для проведения дальнейших работ. [25]
На рис. 9, в приведена зависимость цикловой скорости осаждения пленки алюминия от длительности цикла воздействия водородной плазмой при 5-секундном цикле подачи ТМА и 15-секундных циклах продувки реактора аргоном. Зависимость показывает, что цикловая скорость осаждения становится постоянной и равной 0 15 нм / цикл при времени цикла воздействия водородной плазмой более 5 секунд. [26]
Данная установка состоит из четырехгорлой грушевидной колбы-оксиэти-лятора 4 из молибденового стекла, снабженной механической мешалкой, термометром, трубкой для ввода газообразной окиси этилена и трубкой для продувки реактора азотом. Последняя трубка сообщается с манометром 5, заполненным вазелиновым маслом. [27]
На рис. 9, б показана зависимость цикловой скорости осаждения пленки Vd от длительности цикла подачи ТМА в реактор при времени воздействия водородной плазмы 10 секунд и 15-секундных циклах продувки реактора аргоном. Видно, что при времени цикла подачи ТМА более 3 с цикловая скорость переходит в режим постоянства и становится равной 0 15 нм / цикл. Это подтверждает зависимость характеристик процесса ALD от самоограничивающейся хемосорбции молекул ТМА на поверхности подложки. [28]
 |
Принципиальная технологическая схема установки каталитического крекинга дистиллятного сырья с подвижным слоем шарикового катализатора. [29] |
Линии: / - сырье; / / - рециркулят; / / / - бензин на стабилизацию; IV - углеводородные газы; V - легкий газойль; VI - водяной пар; VII - пары от продувки реактора паром; VIII - регенерированный катализатор; IX - дымовые газы из бункеров пневмотранспортера; X - закоксованный катализатор; XI - дымовые газы из регенератора - в атмосферу; XII - катализаторная крошка ( мелочь); XIII - - холодный воздух; XIV - нагретый воздух в смеси с дымовыми газами; XV - топливо; XVI - горячая вода для циркуляции через змеевики регенератора; XVII - деаэрированная вода; XVIII - продукты реакций из реактора в ректификационную колонну; XIX - тяжелый газойль. [30]
Страницы: 1 2 3 4 5