Cтраница 3
Для каких целей в полупроводниковом производстве используют стекло, керамику, кварц и графит. [31]
Для каких целей в полупроводниковом производстве применяют органическое стекло, полиэтилен и фторопласт. [32]
Осциллографы, применяемые в полупроводниковом производстве, позволяют измерять напряжения от десятков милливольт до нескольких сотен вольт с частотой до нескольких мегагерц. [33]
Точно так же поступают в полупроводниковое производство различные реактивы. В зависимости от агрессивности жидких реактивов их поставляют в стеклянных бутылях ( соляная, серная и другие кислоты, растворители и пр. Небольшие ( до 5 кг) партии кристаллических реактивов ( едкий натр, едкое кали, соли и др.) поставляют упакованными в стеклянные банки, покрытые изнутри смесью парафина с полиэтиленом, закрываемые притертой пробкой или навинчивающейся пластмассовой крышкой с полиэтиленовой прокладкой, или в полиэтиленовые банки с навинчивающейся крышкой. Большие ( до 35 кг) партии поставляют в канистрах ИЗ белого полиэтилена или полиэтиленовых мешках. [34]
![]() |
Параметры воды разных марок, используемой в полупроводниковом производстве. [35] |
На операциях подготовки основных материалов полупроводникового производства расходуется большое количество вспомогательных материалов, из которых первое место по массе занимает высокочистая вода. [36]
Какие категории помещений приняты для полупроводникового производства и чем они характеризуются. [37]
Разнообразие типов и назначений оборудования полупроводникового производства и обеспечение его нормальной работы требуют квалифицированного обслуживания и качественной наладки. Наладчик оборудования полупроводникового производства должен знать устройство, принцип действия, порядок работы и наладки обслуживаемых установок, а также технологический процесс изготовления изделий на данном виде оборудования. Кроме того, наладчик должен уметь быстро и качественно налаживать, настраивать и регулировать обслуживаемые установки, а также выполнять профилактический осмотр, мелкий и средний ремонты. Выполнив наладку, наладчик обязан обучить рабочих рациональным приемам труда и познакомить их с режимами работы оборудования. [38]
Рассмотрим наиболее часто применяемое в полупроводниковом производстве прессовое, термическое и гальваническое оборудование. [39]
Наряду с вакуумной техникой в полупроводниковом производстве широко используют оборудование, в котором рабочий объем заполняется водородом, азотом или одним из инертных газов. [40]
Какие электродные сплавы применяют в полупроводниковом производстве. [41]
Какие тугоплавкие материалы применяют в полупроводниковом производстве. [42]
![]() |
Применение индукционного. [43] |
Учитывая то, что в полупроводниковом производстве очищаемый материал должен представлять монокристалл с соответствующим содержанием определенных примесей ( донорные или акцепторные), процесс получения такого монокристалла обычно совмещен с процессом индукционной плавки. В настоящее время находят применение три способа получения монокристаллов: вытягивания, зонной плавки и бестигельной плавки. [44]
![]() |
Схема аппаратуры для жидкофазной эпитаксии. [45] |