Cтраница 4
Все стадии отличаются от традиционных для полупроводникового производства, например кремниевых приборов. Особенно заметно отличаются две последние стадии. [46]
Капитальный ремонт технологического оборудования на предприятиях полупроводникового производства, как правило, не производят, так как оно устаревает раньше, чем наступает необходимость в капитальном ремонте. Статистика показывает, что в среднем примерно за 3 8 года состав оборудования в электронной промышленности обновляется полностью. Следовательно, ежегодно на предприятиях электронной промышленности службы наладки и ремонта должны осваивать новое оборудование, составляющее не менее 25 % от общего парка предприятия. [47]
В книге приведены общие сведения о полупроводниковом производстве, классификация измерительного и испытательного оборудования. Рассмотрена технология сборки, монтажа и наладки испытательного и тренировочного оборудования. Приведены сведения об организации труда на полупроводниковом производстве. Рассмотрены основные положения по технике безопасности при испытании и тренировке полупроводниковых приборов. [48]
В книге рассмотрены: основные технологические процессы полупроводникового производства; различные виды механической, химической и электрохимической обработки, изготовление фотошаблонов и процессы фотолитографии, процессы эпитаксии, диффузии, термического испарения в вакууме; методы защиты поверхности структур, сборка и герметизация приборов, типы корпусов, методы измерения параметров и испытания полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. [49]
В настоящей книге описаны основные технологические процессы полупроводникового производства, причем главное внимание уделено явлениям, происходящим в материалах при их обработке на каждой технологической операции. Некоторые параграфы книги, относящиеся к физике полупроводниковых материалов и принципам действия приборов, написаны так, чтобы читатели, знакомые с вопросами физики и химии в объеме средней школы, могли принять отдельные положения без доказательств. [50]
Индий применяют обычно в зависимости от требований полупроводникового производства в виде таблеток и шариков различного размера. Иногда индий вводят в свинцово-оловянные припои для пайки металлов, чтобы увеличить их стойкость к щелочам. Кроме того, припои на основе сплавов свинца с индием обладают при отрицательных температурах значительно меньшей упругостью, чем свинцово-оловянные. [51]
Химический состав индий разных марок. [52] |
Используют индий обычно в зависимости от требований полупроводникового производства в виде таблеток я шариков различного размера. Иногда индий вводят в свинцово-оловянные припои, чтобы увеличить их стойкость к щелочам. Кроме того, припои на основе сплавов свинца с индием обладают при отрицательной температуре значительно меньшей упругостью, чем свинцово-оловянные. Индий используется также для антикоррозионных покрытий. Тонкие пленки индия, осаждаемые методом термического вакуумного испарения и конденсации, применяются в производстве пленочных фоторезисторов и других элементов в качестве электродов. [53]
Третье поколение элементной базы появилось после внедрения в полупроводниковое производство планарной технологии, которая в сочетании с пленочной технологией позволила создать принципиально нов. [54]
Книга предназначена в качестве учебника для подготовки рабочих полупроводникового производства в профессионально-технических учебных заведениях и на производстве. [55]
Станок 2405 ( рис. 13) применяется в полупроводниковом производстве для резки слитков полупроводниковых материалов на пластины кольцеобразной пилой - алмазным диском. Этот станок может быть настроен на автоматическую резку и один рабочий может обслуживать несколько таких станков. [56]