Процесс - напыление
Cтраница 4
В процессе напыления частицы могут образовывать при высоких температурах различные токсичные соединения, что вызывает необходимость проведения дополнительных работ по защите обслуживающего персонала. [46]
Металлизацией называется процесс напыления ( нанесения) расплавленного металла на специально подготовленную поверхность детали при помощи сжатого воздуха или инертного газа. Расплавленный металл распыляется на частицы размером от 3 до 300 мкм и со скоростью 100 - 300 м / с наносится на поверхность детали. Металлизация позволяет получить слой металла толщиной от 0 1 до 10 мм. [47]
Заключительным этапом процесса напыления является термостабилизация пленок. Термостабилизация заключается в выдержке подложки с напыленной пленкой при повышенной температуре и постепенном охлаждении. В процессе термостабилизации снимаются внутренние напряжения и упорядочивается структура пленок, что способствует улучшению электрофизических характеристик пленочных элементов. [48]
Основной особенностью процесса напыления в этом режиме является наличие критического расхода частиц Gp et, ниже которого покрытие не образуется при любом времени воздействия двухфазной струи. [49]
Проблема оптимизации процесса напыления, в частности детонационного, является весьма важной. [50]
По окончании процесса напыления подложек в подколпачный объем вводится сухой азот и камера вскрывается. Затем кассета перезаряжается, камера закрывается и процесс повторяется. Необходимо отметить, что при получении сверхвысокого вакуума самое важное, значение имеет первоначальный прогрев установки. [51]
Если в процессе напыления наблюдается выброс макроскопических частиц, повреждающих напыляемую пленку, применяют испарители в виде лодочки ( рис. 2.7, б) с одним или двумя экранами, отверстия в которых смещены в шахматном порядке. Тигельный испаритель, представленный на рис. 2.7, е, используют для испарения больших количеств сыпучих диэлектрических материалов. [52]
Поскольку в процессе напыления пленки растет ее толщина, интенсивность света, проходящего через пленку, уменьшается, а отраженного увеличивается. Изменение интенсивности отраженного света фиксируется фотоэлементом, на выходе которого стоит чувствительный прибор. Этот метод применяется только для измерения толщины тонких полупрозрачных пленок. Пленки толщиной порядка 600 А и выше почти полностью поглощают свет. По этой причине этот метод для контроля толщины пленочных элементов микросхем практически не применим. [53]
Поэтому следует организовать процесс напыления полимеров в специальных камерах с вытяжной вентиляцией. [54]
Под металлизацией понимается процесс напыления расплавленного металла на ремонтируемые детали сжатым воздухом. Для расплавления металла используется тепло электрической дуги, газового пламени, токов высокой частоты и плазмы. [55]
При достаточной длительности процесса напыления и соответственно больших толщинах отклонение реального распределения толщины пленки по поверхности подложки от некоторого статистически наиболее вероятного распределения может быть сделано сколь угодно малым. [56]
В плане автоматизации процессов напыления наибольший интерес представляют камеры с контролируемой средой. Камеры необходимы для обработки изделий различных серий. [57]
 |
Схема отечественной установки для автоматического напыления ППУ на трубопроводы. [58] |
Работы по автоматизации процесса напыления проводят и в нашей стране. [59]
Страницы: 1 2 3 4