Процесс - обезгаживание
Cтраница 3
Эффективность обезгаживания стеклянных деталей зависит от предельной температуры и продолжительности обезгаживания, режима подъема и снижения температуры, давления в вакуумной системе в процессе обезгаживания и скорости откачки, состава стекла и толщины стеклянных деталей, количества газов и даров, растворившихся в стекле в процессе его варки и хранения; качества предварительной химической или термической очистки стеклянных деталей и других факторов. [31]
Хотя зависимость ( - 1 / 1 / 0 и выведена для идеализированных граничных условий, однако она часто подтверждается опытом и считается характерной для процессов обезгаживания, обусловленных диффузией. На практике исходное однородное распределение концентрации газа справедливо лишь для впервые используемых материалов, до этого момента не подвергавшихся обезгаживанию. При нагревании указанных материалов в вакууме растворенные в них при изготовлении газы выделяются необратимо. Диффузия атмосферных газов при комнатной температуре слишком мала, чтобы восстановить однородное распределение равновесной концентрации в твердом теле. [32]
Газы и пары, десорбирующиеся с нагреваемых деталей прибора, могут снова сорбироваться на холодных деталях. Это затрудняет процесс обезгаживания прибора. [33]
Ввиду того что стенки вакуумной системы холодные и имеют большую поверхность, на них сорбируется гораздо больше газов и паров, чем в приборе. Поэтому в процессе обезгаживания не только давление, но и состав остаточных газов в приборе и в вакуумной системе становится разным. [34]
В масс-спектрометрии придается большое значение вакуумным уплотнениям. Особенно большие технические затруднения возникают в процессе обезгаживания масс-спектрометра в связи с необходимостью одни узлы прибора прогревать до температуры 250 - 300 С, другие охлаждать до - 70 - 180 С. Указанный перепад температур не должен вызывать нарушение герметичности отдельных частей прибора. [35]
Чем выше вакуум в процессе вакуумной обработки прибора, тем меньшая температура достаточна для обезгаживания катода. Например, при вакуумной обработке ПУЛ а полуавтоматах откачки давление остаточных газов в процессе обезгаживания и активирования катода практически может повышаться до 0 8 мм рт. ст., поэтому для полного разложения карбонатов и удаления углерода требуется высокая температура, достигающая 950 С. [36]
 |
Соединения стеклянного колпака с базовой плитой с помощью. [37] |
Часто для улучшения уплотнения при умеренной степени компрессии прокладки используют жидкую смазку. Однако в обоих случаях сравнительно большая площадь поверхности прокладки, экспонируемой в вакууме, является источником существенного выделения газа за счет процессов обезгаживания и проникновения. [38]
Другое не менее важное требование заключается в том, что газоотделение стенок вакуумной аппаратуры должно быть минимальным. Поэтому используемый для изготовления вакуумной аппаратуры материал должен иметь при рабочей температуре минимальную упругость собственных паров и легко отдавать ранее поглощенные газы в процессе обезгаживания вакуумной установки. С этой точки зрения следует избегать применения пористых материалов, так как помимо1 значительной газопроницаемости они в течение длительного времени выделяют ранее поглощенные газы и пары. Добиться достаточно чистой промывки материалов, имеющих пористую структуру, также не удается, поскольку грязь вместе с органическими растворителями забивается во все поры и трещины и удалить ее оттуда очень трудно. Для изготовления вакуумной аппаратуры преимущественно применяют материалы, имеющие плотную структуру, и прежде всего те из них, которые легко обрабатываются и полируются, что в значительной мере облегчает промывку деталей органическими растворителями для удаления жиров и других загрязнений с поверхности деталей перед их сборкой. [39]
Желательно, чтобы обезгаживание металлических деталей и газопоглотителя токами высокой частоты происходило одновременно с обезгаживанием оболочки прибора в печи. Скорость обезгаживания должна выбираться в зависимости от скорости откачки вакуумной системы ( см. стр. В процессе обезгаживания не допускается окисления деталей прибора выделяющимися газами и коробления слюды. [40]
 |
Устройство L-катода. [41] |
Такой катод помещают в прибор, в котором производится его дальнейшая вакуумная обработка. Обезгаживание катода ведется при температуре порядка 1 070 - 1 120 К. В процессе обезгаживания происходит интенсивное разложение карбоната бария ( а в случае двойного карбоната - и карбоната стронция) на окись бария и углекислый газ, который выделяется из камеры через поры губки и откачивается. Процесс обезгаживания происходит в течение нескольких часов. Хорошо обезгаженный катод подвергается активированию при температуре порядка 1 400 - 1 500 К. [42]
После запаивания трубки, служащей для введения образца, система откачивается до КЗ 6 мм рт. ст. Затем на трубку с образцом одевается печь и образец нагревается до 900 в вакууме 10 - б мм или еще более высоком. Во время этого процесса обезгаживания поверхностные окислы в значительной степени удаляются. Отсчеты положения весов производятся перед началом каждой операции ( полунепрерывный способ), во время ее проведения и после окончания. [43]
Центральная нить в пропорциональном счетчике обычно делается из вольфрама. Это твердый металл, поэтому из него удобно сделать однородную по диаметру нить. Нить может быть очищена нагреванием в процессе обезгаживания после сборки. В этом процессе удобно использовать вольфрам в качестве термометра сопротивления. [44]
Применяемый при откачке многих приборов сорбци-онный насос ( рис. 10 - 6 6) представляет собой титановый цилиндр с подогревателем, смонтированный на ножке и заваренный в стеклянный баллон. В таком виде он напаивается на стеклянную гребенку откачного поста вместе с откачиваемыми приборами и прогревается одновременно с ними под электрической печью ( 450 С, 2 - 3 ч) для обезгаживания стекла. Затем при подаче напряжения к выводам ( 6 5 в) осуществляется процесс обезгаживания и распыления титана ( в течение около 2 ч), который в виде зеркального налета осаждается на стенки баллона. В результате давление в гребенке снижается до 10 - 7 мм рт. ст., после чего начинается обычный процесс обезгаживания приборов при одновременной работе вращательного, пароструйного и титанового насосов. [45]
Страницы: 1 2 3 4