Процесс - химическое осаждение
Cтраница 3
Эти данные указывают на аномальный ход процесса химического осаждения в системе. В основе его лежит осложнение химизма процесса вторичными межфазовыми взаимодействиями. [31]
Еще раз подчеркнем, что от процесса химического осаждения твердых веществ на подложках, таких как полимеризация и поликонденсация, химическая сборка отличается тем, что позволяет получать не аморфные, а регулярно построенные твердые вещества. Это видно из того, что химическая сборка - необратимый процесс, протекающий, если необходимо, при огромном пересыщении системы взаимодействующих веществ энергией, которая частично аккумулируется в виде энергии связей, присоединяющих структурные единицы к жесткому остову твердого тела, поверхность которого служит матрицей для сборки структурных единиц. После каждого акта хемосорбции твердое вещество приобретает избыточное количество химической энергии, часть которой трансформируется твердым телом в вибрационную энергию и излучается в окружающую среду. Другая ее часть, например, та, которая требуется, чтобы из данных структурных единиц образовался особо плотный слой вещества, связанный с данным твердым телом, запасается этим слоем. Таким образом; в процессе химической сборки можно получать вещество, находящееся на самом низком, на некотором промежуточном и на самом высоком уровне энергии, в то время как в процессе кристаллизации получается вещество, находящееся на одном из самых низких энергетических уровней. [32]
 |
Стадии жидкостной эпитаксии. [33] |
Сравнивая этот процесс с описанным выше процессом химического осаждения из газовой фазы, можно выделить следующие его особенности. Рост кристалла происходит на границе раздела твердой и жидкой фаз, что обычно дает кристаллы с меньшей плотностью дислокаций, чем в подложке, на которой выращивается кристалл. [34]
В последующих разделах будут рассмотрены характерные особенности процесса химического осаждения из паровой фазы. [35]
 |
Зависимость потенциометры-ческих кривых от продолжительности процесса химического осаждения в системе Ni ( NO3 2 - Na2CO3 - H2O., Продолжительность осаждения. [36] |
На характер и течение химических реакций в процессах химического осаждения, протекающих, как правило, в водной среде, определяющим образом влияют ионы водорода и гидроксила. [37]
Время существования систем осадок-раствор невелико и ограничивается длительностью процессов химического осаждения и старения осадка вплоть до отделения его от маточного раствора для дальнейшей технологической обработки. Каждая система проходит следующие периоды: 1) индукционный; 2) образование и начальное старение системы; 3) старение системы; 4) разложение системы с отделением осадка от маточного раствора. [38]
В последнем случае необходимо тщательное экономическое обоснование замены процесса химического осаждения пленок меди из раствора на процесс их ХОГФ для конкретной микросхемы, чтобы увеличение ее выхода годных и улучшение характеристик за счет повышение качества пленок меди компенсировали увеличение стоимости оборудования и реагентов при проведении процесса ХОГФ. [39]
Так же как и при электролитическом осаждении, в процессе химического осаждения происходит восстановление ионов металла с образованием осаждаемого вещества, однако в данном случае внешний источник энергии, генерирующий электроны, не применяется. Вместо этого для активации процесса осаждения используется каталитически активная поверхность, причем для дальнейшего протекания реакции необходимо, чтобы сам металл был катализатором. Наличие в растворе электронов, участвующих в реакции восстановления, обеспечивает восстановитель. Поскольку осаждаемые металлы должны обладать каталитической активностью, данный метод применим для получения пленок ограниченного числа металлов. В табл. 2.10 приведены типичные параметры процесса осаждения ряда металлов. Достоинства метода химического осаждения состоят в следующем: 1) возможно осаждение очень однородных пленок без утолщений по краям и на выпуклых участках подложки; 2) получаемые пленки обладают меньшей пористостью, чем электро-осажденные пленки; 3) возможно осаждение пленок на непроводящие подложки после предварительной обработки, придающей их поверхности каталитическую активность. [40]
Важно знать, что наиболее активно старение осадка идет в самом процессе химического осаждения, когда образующиеся частицы не вполне еще оформились и являются наиболее активными. Это дает возможность получать осадок с хорошими свойствами, меняя условия начальной стадии процесса химического осаждения. [41]
 |
Зависимость рН среды в ходе химического взаимодействия в системе Ni ( NO3 a - - NaaCO3 - Н2О от продолжительности процесса осаждения ( мин. [42] |
Анализ полученных данных показывает, что не вся израсходованная сода используется в процессе химического осаждения. [43]
Подводя итоги рассмотрения описанных выше процессов, можно отметить, что имеется ряд процессов химического осаждения, экстракции и ионного обмена, для которых исследование первой стадии практически закончено. Некоторые из них, а именно процессы экстракции, успешно прошли вторую стадию. С другой стороны, большая часть пирометаллургических процессов и процессов галогенирования все еще находится на первой стадии. [44]
Физико-химический анализ систем осадок - раствор И. В. Тананаева обеспечивает возможность количественного изучения физико-химической стороны процессов химического осаждения несколькими независимыми методами. [45]
Страницы: 1 2 3 4