Прямолинейность - перемещение
Cтраница 3
Для поступательного перемещения деталей механизмов и машин применяют направляющие прямолинейного движения с трением скольжения или качения. Они обеспечивают прямолинейность перемещения суппортов, ползунов, столов в заданном направлении и воспринимают действующие на них силы. [32]
В вертикальной плоскости проверка производится таким же образом, но с трубкой оптиметра, установленной вертикально; наконечник трубки приводят в контакт с горизонтальной рабочей поверхностью линейки. Допуск на отклонение от прямолинейности ( 0 003 мм) обеспечивается качественным изготовлением деталей и сборкой основания прибора. При выверке прямолинейности перемещения каретки продольного хода лекальную линейку в регулируемой оправе устанавливают на одну из опорных поверхностей продольной каретки таким образом, чтобы рабочие поверхности линейки были направлены в сторону трубки оптиметра. Проверку производят вышеуказанным способом. [33]
Для улучшения совмещаемости фотошаблонов используют многоместные фотоштампы, состоящие из нескольких проекционных оптических систем, объединенных общим координатным столом ( например, установка ЭМ-510), При одновременном изготовлении всех шаблонов комплекта ошибки перемещения стола оказываются одинаковыми для всех фотошаблонов т не влияют на точность совмещения изображений отдельных шаблонов. Однако требование идентичности настройки проекционных систем при этом возрастает. Возрастают также требования к прямолинейности перемещений по осям X и У. [34]
Выявленный дефект устраняют поворотом колонки на угол ф при неизменном нулевом показании, с помощью специального юстировочного винта. Кроме регулировки винтом, наклон тубуса микроскопа при нулевом положении колонки может быть устранен слесарной обработкой узла крепления тубуса. Образцом, по которому поверяют прямолинейность перемещения детали ( узла) прибора, часто служит поверочная линейка с широкой рабочей поверхностью. [35]
При измерении прямолинейности перемещения применяются такие же интерферометр и отражатель, как и в режиме измерения угла. В этом случае компьютер пересчитывает угловой наклон отражателя в отклонении от прямолинейности по известной методике. Однако в отдельных случаях для измерения прямолинейности перемещения применяют схему, изображенную на рис. 4.15, в. В качестве интерферометра 1 используют призму Волластона, изготовленную из дзухпреломляющего материала, что обеспечивает разделение пучков с разными частотами благодаря различию их поляризации. Отражателем 2 служит система двух зеркал, расположенных под углом 180 - Q. Схема позволяет измерять боковое относительное смещение осей интерферометра и отражателя и в конечном счете отклонение от прямолинейности перемещения. [36]
При определении отклонения от прямолинейности в вертикальной плоскости разворачивают измерительное устройство в вертикальное положение. Приведя измерительный наконечник в контакт с вертикальной плоскостью линейки, наклоняют основание лекальной линейкой с помощью регулировочного винта до получения одинаковых показаний по шкале измерительного устройства с точностью до 0 2 мкм в крайних точках линейки. Затем при медленном перемещении каретки фиксируют наибольшую разность отсчетов по шкале отсчетного устройства, которая соответствует максимальному отклонению от прямолинейности перемещения каретки в вертикальной плоскости. [37]
Игла 8 и пружины 9 обеспечивают связь столика с кареткой. Данная конструкция дает возможность уменьшить шум столика на длине ячейки 500 мкм до 0 03 мкм. При вертикальном перемещении каретки посредством механизма микрометренной фокусировки шум столика на длине ячейки 50 мкм не превышает 0 01 мкм. Контроль прямолинейности перемещения осуществляется при помощи многолучевого интерференционного устройства. [38]
Проверку производят в двух взаимно перпендикулярных направлениях по точному угольнику ( типа УШ-0-160 X 100, ГОСТ 3349 - 65), закрепленному на опорной поверхности каретки 10 ( рис. V.4), и с помощью контактной измерительной головки типа 1 - ИМП ГОСТ 14712 - 69, укрепленной в тубусе визирного микроскопа. Проверку перпендикулярности производят перемещением кронштейна 11 по направляющим на высоту 120 мм при вертикальном положении кронштейна 12, что соответствует нулевому показанию шкалы наклона. Одновременно с этой проверкой производят проверку прямолинейности перемещения кронштейна 11 по направляющим. [39]
При измерении прямолинейности перемещения применяются такие же интерферометр и отражатель, как и в режиме измерения угла. В этом случае компьютер пересчитывает угловой наклон отражателя в отклонении от прямолинейности по известной методике. Однако в отдельных случаях для измерения прямолинейности перемещения применяют схему, изображенную на рис. 4.15, в. В качестве интерферометра 1 используют призму Волластона, изготовленную из дзухпреломляющего материала, что обеспечивает разделение пучков с разными частотами благодаря различию их поляризации. Отражателем 2 служит система двух зеркал, расположенных под углом 180 - Q. Схема позволяет измерять боковое относительное смещение осей интерферометра и отражателя и в конечном счете отклонение от прямолинейности перемещения. [40]
Страницы: 1 2 3