Сфокусированный пучок - электрон
Cтраница 3
В характронах, наиболее сложных ЭЛТ для дисплеев, внутри баллона ставится маска - трафарет. Сфокусированный пучок электронов направляется через прорезь, соответствующую выбранному символу. Часть пучка, прошедшая - через прорезь маски, снова фокусируется на люминесцирующем экране. Помимо отклоняющей системы, необходимой для ориентирования пучка на выбранный символ, здесь еще требуется вторая отклоняющая система для размещения этого символа в нужном месте экрана. Хотя такая система достаточно сложна и дорога, она широко используется в аппаратуре вывода а микрофильмы для получения данных с ЭВМ в виде фотоматериалов. В частности, она применяется в дисплеях системы SAGE ПВО США. Скорость работы характрона очень высока, так как для воспроизведения символа требуется лишь один временной интервал отклонения пучка. Место каждого символа на маске запоминается в удобной для пользования форме, что позволяет получить простую адресацию во входных словах. [31]
Поток электронов ускоряется через электрическое поле от 5 до 10 кВ и фокусируется на материале, который нужно выпарить. Сфокусированный пучок электронов расплавляет материал, находящийся в блоке с водяным охлаждением с большим углублением, называемым очагом. Расплавленный материал затем испаряется в вакуумной камере и конденсируется на холодных пластинах, а также на всей поверхности камеры. После этого выполняются стандартные операции нанесения фоторезиста, экспонирования, проявления и жидкостного или сухого травления для получения сложной электрической схемы с металлизацией. [32]
Существуют конструкции разборных электронных трубок с вращающимся во время работы трубки анодом. При вращении анода сфокусированный пучок электронов все время попадает на охлажденный участок анода, и за счет этого можно в большой степени увеличить мощность трубки. Обычные электронные трубки позволяют доводить силу проходящего через них тока до 20 - 30 мА в зависимости от материала анода. В трубках же с вращающимся анодом допустимое значение тока увеличивается примерно в два раза. [33]
Общий вид электронно-лучевой трубки показан на рис. 9.13. Левая часть трубки устроена так же, как в обычных трубках. Из электронной пушки сфокусированный пучок электронов поступает на электростатическое отклоняющее устройство О. [34]
В настоящее время широко стали применяться катодные распределители. Роль щеток у них выполняет управляемый сфокусированный пучок электронов. Скорость передачи команд при использовании катодного распределителя значительно увеличивается. [35]
В зависимости от способа осуществления движения щеток распределители подразделяют на распределители с двигательным приводом, шаговые ( электромагнитные) и катодные. В катодных распределителях роль щетки выполняет управляемый сфокусированный пучок электронов. [36]
 |
Устройство лампы бегущей волны. [37] |
На рис. 97 представлено принципиальное устройство лампы бегущей волны. Лампа содержит три основных элемента: электронную пушку, состоящую из катода, фокусирующего электрода и системы анодов; замедляющий элемент в виде спирали, охватывающей электронный сфокусированный пучок электронов; коллектор, улавливающий электроны в конце их пути. Все эти элементы заключены в стеклянный баллон, внутри которого создан высокий вакуум. [38]
На рис. 2 изображен прибор, в котором выполнены все сформулированные выше условия. Он состоит из трех основных частей: 1) реакционная камера ( ионный источник), в которой ионы образуются в результате электронного удара и где они реагируют с парами растворителя; 2) электронная пушка, создающая сфокусированный пучок электронов, который входит в специальное отверстие в камере ионного источника; 3) блок масс-спектро-метри-ческого анализа, в котором ионы, истекающие из источника через специальное отверстие, разделяются по массе и детектируются. Эти три основных блока соединяются между собой камерами большого объема, которые постоянно вакуумируются с помощью мощных вакуумных насосов. Мощная вакуумная система поддерживает отношение давлений между ионным источником и вакуумной камерой, равное - Ю5, несмотря на постоянное истечение газа через отверстия, предназначенные для поступления электронов и выхода ионов из источника. Типичные величины давлений составляют 5 мм рт. ст. в ионном источнике и около 10 - 4 мм рт. ст. в вакуумной камере. Масс-спектрометр и электронная пушка хорошо работают при давлениях ниже 10 - 4 мм рт. ст., но при более высоких давлениях они работать не могут. [39]
 |
Условная схема процесса электронно-лучевой обработки. [40] |
Формирование, фокусировка и управление электронным лучом осуществляются в электронной пушке. Электроны, эмиттируе-мые катодом, ускоряются напряжением до 150 кВ, в результате скорость электронов в луче достигает 20 - 104 м / с. Сфокусированный пучок электронов проходит в рабочую камеру и бомбардирует обрабатываемую поверхность. [41]
 |
Зависимость скорости электрона от пройденной разности потенциалов. [42] |
Электронный луч - это настолько тонкий электронный пучок, что сечение его можно считать сколь угодно малым, а след луча на экране - точкой. Приближенно электронным лучом часто называют узкий сфокусированный пучок электронов, имеющий хотя бы в одном месте очень малое сечение. Такие пучки - лучи используются в большинстве электроннолучевых приборов, что и определяет обобщающее название этого класса электровакуумных приборов. [43]
В настоящее время этот способ широко используют при изготовлении ИМС. Испарение металла при вакуумном нанесении осуществляют с помощью нагретой спирали, сфокусированного пучка электронов или ионной бомбардировки. Наиболее простой способ нагрева металла с помощью спирали или лодочки может приводить к загрязнению пленки продуктами реакции с материалом контейнера или примесями, выделяющимися из него. [44]
Специфическим электронным прибором является электроннолучевая трубка. Схема ее устройства изображена на рис. 47.9. Электроны, излучаемые подогревным катодом, проходят через сетку ( управляющий электрод) и ускоряются двумя анодами. Вся эта система, называемая электронной пушкой, служит для того, чтобы создать на экране сфокусированный пучок электронов. Экран покрыт люминесцирующим веществом ( § 79.2) и ярко светится под действием бомбардирующих его электронов. [45]
Страницы: 1 2 3 4