Катодное распыление - металл
Cтраница 1
Катодное распыление металлов ( Си, Аи, А & Р1, Та) заключается в разрушении катода, изготовленного из напыляемого металла, в вакууме ( 10 - 3 - 10 - 5 Па) под действием положительно заряженных ионов воздуха. [1]
Способ катодного распыления металлов в принципе мало отличается от вакуумного испарения. В качестве катода используется пластинка металла для нанесения покрытия, к аноду подключается покрываемая подложка с уложенным на ней трафаретом печатной схемы. Степень шероховатости подложки оказывает существенное влияние на структуру покрытия. Для получения гладкой поверхности производят термическую полировку стеклянных подложек нагревом и оплавлением поверхностного слоя. [2]
Наиболее распространено катодное распыление металлов в вакууме. Так, в атмосфере аргона, получают металлические зеркальные покрытия. В окислительной среде, при возбуждении тлеющего разряда в кислороде, когда разрядное пространство становится высокоактивной средой, поверхность изделий, расположенных на некотором расстоянии от катода, покрывается пленкой окисла. Данный метод известен в литературе как метод получения пленок реактивным распылением. Основное преимущество данного метода - возможность получения пленок, состав которых отвечает термически и химически устойчивым соединениям. Кроме того, адгезия пленок из окислов к поверхности стекла и их твердость значительно выше, чем у пленок, состоящих из сульфидов или фторидов, получаемых методом термического испарения. Методом реактивного распыления целесообразно получать тонкие интерференционные светоделительные, просветляющие и защитные пленки на деталях оптических приборов, предназначаемых для работы в условиях повышенной влажности и температуре 30 С. Однако метод катодного распыления не применим для стекол, содержащих в своем составе большое количество окислов свинца. Причинами этого считают электронную и ионную бомбардировку, облучение стекла ультрафиолетовой радиацией, в результате чего окислы свинца восстанавливаются до металлического свинца. [3]
Катализаторы получены катодным распылением металла. [4]
Этим пользуются для катодного распыления металлов, что позволяет получить очень тонкие и прочные металлические покрытия на разных предметах. [5]
 |
Изомеризация окиси пропилена. [6] |
Катализаторы, приготовленные катодным распылением металла. [7]
Двухслойные окисные пленки, образуемые катодным распылением металлов, хотя и обладают аналогичными, свойствами, но использование их часто ограничивается технологическими трудностями. [8]
 |
Локальный ток при растворении цинка, имеющего включение меди. [9] |
Наиболее типичным примером таких аномалий является катодное распыление металлов. [10]
 |
Локальный ток при растворении цинка, имеющего включение меди. [11] |
Наиболее типичным примером таких аномалий является катодное распыление металлов. [12]
В лабораторной практике используют тлеющий разряд для катодного распыления металлов, так как вещество катода в тлеющем разряде постепенно переходит в парообразное состояние и оседает в виде металлического напета на стенках трубки. [13]
 |
Неоновая лампа. [14] |
В лабораторной практике используют тлеющий разряд для катодного распыления металлов, так как вещество катода в тлеющем разряде постепенно переходит в парообразное состояние и оседает в виде металлического налета на стенках трубки. [15]
Страницы: 1 2 3