Анодное растворение - германий
Cтраница 1
Анодное растворение германия начинается с окисления. Подтверждением этого являются, во-первых, отсутствие ионов Ge 4 в электролите и, во-вторых, то обстоятельство, что потенциал травления зависит от концентрации ионов ОН, которые вызывают окисление. Чем выше концентрация ионов ОН, тем легче идет травление. [1]
Анодное растворение германия начинается при потенциале около 0 15 в, мало зависящем от состава электролита ( НС1, H2SO4, КОН, Н2О), причем, по данным [778], в широком интервале плотностей тока реакция идет со 1 00 % - ным выходом соединений германия ( IV) по току. [2]
Анодное растворение германия начинается при потенциале около 0 15 в, мало зависящем от состава электролита ( НС1, H2SO4, КОН, Н2О), причем, по данным [778], в широком интервале плотностей тока реакция идет со 100 % - ным выходом соединений германия ( IV) по току. [3]
Механизм анодного растворения германия и кремния в основном был рассмотрен в § 2.2. Наличие внешнего источника тока упрощает управление процессом травления, не внося существенного изменения в его механизм. [4]
Кинетика анодного растворения германия зависит от поверхностной концентрации дырок. [5]
Скорость анодного растворения германия лимитируется количеством дырок, приходящим в единицу времени к поверхности полупроводника. [6]
Процесс анодного растворения германия м-типа зависит от характера обработки его поверхности. Особенно сильно отличаются поляризационные кривые, полученные на шлифованном и химически протравленном германии л-типа. Предельный ток насыщения дырок, так ясно выраженный для электрода с химически травленной поверхностью ( см. рис. 13), отсутствует на шлифованном германии. Он вновь обнаруживается, если химическим травлением ( в травителе СР-4) снять с поверхности германия слой толщиной от 20 до 50 мк. Этот слой материала должен быть удален, если электрод после шлифовки полировался до зеркального блеска. Потенциальный барьер на границе раздела электролит - шлифованный германий восстанавливается при последующем электрохимическом травлении германия. Однако напряжение пробоя в этом случае уменьшается, а поверхность электрода покрывается язвами. [7]
В реакции анодного растворения германия наряду с электронами участвуют дырки, при этом скорость реакции при потенциалах более положительных, чем 0 5 с, ограничивается поверхностной концентрацией дырок на границе раздела с электролитом. [8]
Скорость процесса анодного растворения германия rt - типа при потенциалах более положительных, чем 0 5 в, лимитируется скоростью диффузии дырок из глубины полупроводника к его поверхности. [9]
Вследствие низкого потенциала анодного растворения германия большинство окислительных реакций на германиевом аноде сопровождается растворением электрода. Согласно сказанному выше, процесс анодного растворения германия лимитируется скоростью диффузии дырок из объема к поверхности. Однако в других окислительных реакциях дырки могут и не участвовать. Если окисление идет с отдачей электронов в зону проводимости ( например, окисление С2О - Г), то анодное растворение может ускоряться, вероятно, вследствие создания высокого отрицательного потенциала на поверхности электрода, увеличивающего скорость диффузии дырок. [10]
Вследствие низкого потенциала анодного растворения германия большинство окислительных реакций на германиевом аноде сопровождается растворением электрода. Согласно сказанному выше, процесс анодного растворения германия лимитируется скоростью диффузии дырок из объема к поверхности. Однако в других окислительных реакциях дырки могут и не участвовать. [11]
Действительно, процесс анодного растворения германия можно представить, как потерю валентных электронов или приобретение дырок атомом германия, находящимся на границе с раствором. Этот процесс становится возможным при наличии на поверхности достаточного количества дырок. [12]
Чем ограничивается скорость анодного растворения германия п-типа. [13]
 |
Влияние освещенности на потенциал анодного растворения германия. [14] |
Различие в процессе анодного растворения шлифованного и протравленного германия связано с тем, что механические дефекты на шлифованной поверхности являются центрами генерации пар электрон - дырка. Возникающие в результате этого дырки тут же участвуют в электродной реакции и тем самым облегчают процесс анодного растворения германия. Естественно, что этот эффект пропадает после удаления нарушенного слоя. [15]
Страницы: 1 2 3 4