Cтраница 1
Реакция анодного растворения протекает с участием дырок и электронов, поскольку захват электронов может происходить как из зоны проводимости, так и из валентной зоны полупроводника. Все внешние воздействия, способствующие увеличению концентрации дырок на поверхности, - нагрев, освещение, инжекция дырок через р-п-переход - ускоряют процесс анодного растворения. [1]
Схема развития трещины Г261. 264 ]. [2] |
Реакции анодного растворения титана не приведены. [3]
В реакции анодного растворения германия наряду с электронами участвуют дырки, при этом скорость реакции при потенциалах более положительных, чем 0 5 с, ограничивается поверхностной концентрацией дырок на границе раздела с электролитом. [4]
Подробно изучены реакции анодного растворения металлов при электролизе растворов металлорганических соединений. Формально при этом происходит замещение одного металла металл-органического соединения другим. Этот вид реакции будет рассмотрен ниже ( см. гл. [5]
Так как кинетика реакции анодного растворения германия зависит от концентрации дырок у поверхности раздела полупроводник - электролит, то следует ожидать, что величина удельного сопротивления германия и его диффузионная длина также будут оказывать существенное влияние на протекание анодного процесса. [6]
Для установления механизма реакции анодного растворения германия необходимо определить относительное число дырок и электронов, участвующих в электродном процессе. [7]
Весьма вероятно, что ускорение реакции анодного растворения германия в присутствии восстановителей связано со следующими обстоятельствами. Во-первых, реакция окисления иона С2Э - протекает с инъекцией электронов в зону проводимости, а не в валентную зону, ибо в противном случае кривая 3 ( см. рис. 44 и 45) имела бы ток насыщения дырок. Поэтому указанный процесс не лимитируется диффузией дырок из глубины электрода. Во-вторых, при инъекции электронов в результате окисления иона С2О - их поверхностная концентрация резко возрастает. В результате инъекции электронов в поверхностном слое германия создаются сильные электрические поля, которые в свою очередь способствуют появлению там большого количества дырок из-за дрейфа или местной генерации. Это приводит к ускорению реакции анодного растворения германия, протекающей с участием дырок и лимитируемой их концентрацией на границе раздела германий-электролит. [8]
Уже в первых опытах по изучению реакции анодного растворения Иржа1 обнаружил, что в кислых растворах при высоких плотностях тока на границе раздела германий - электролит - воздух образуется желто-оранжевая окисная пленка, которая состоит в основном из соединений двухвалентного германия. [9]
Гипотеза Браттайна и Гаретта об участии дырок в реакции анодного растворения германия получила экспериментальное подтверждение в более поздних работах ряда исследователей4 8 и в настоящее время нет сомнений в ее достоверности. [10]
В табл. 3 сведены результаты измерений выхода по току реакции анодного растворения кремния р-типа в водных растворах фтористого калия. [11]
Ингибирующее действие хроматов объясняется тем, что адсорбированные хромат-ионы тормозят реакцию анодного растворения металла, окисляя его до труднорастворимых окислов, образующих на поверхности металла непроницаемую защитную пленку. [12]
При этом особое внимание обращается на рассмотрение наиболее важных в прикладном отношении реакций анодного растворения германия и кремния. В книге также дается обзор применения электрохимических операций в технологии изготовления полупроводниковых приборов. [13]
Зависимость г нас. / L для германия п-типа. [14] |
Таким образом, результаты Флинна подтверждают сделанные выше выводы о природе дырок при реакции анодного растворения германия. [15]