Реакция - травление
Cтраница 3
Объем травителя во избежание накопления в растворе продуктов реакции травления и для поддержания изотермических условий и стабилизации гидродинамических потоков должен составлять 10 - 15 см3 / см2 поверхности пластины полупроводника. Скорость циркуляции травителя подбирают экспериментально с учетом геометрии сосуда с раствором. [31]
АНШЛИФ - представляет полированную поверхность небольшого куска породы. Исследуется в отраженном свете с помощью опак-иллюминатора, часто с применением реакций травления. Для установки полированной поверхности шлифа параллельно предметному стеклу применяется ручной пресс, дающий правильное положение А. [32]
Принцип травления кремния и германия основан на окислении их поверхности и последующем удалении этих окислов, поэтому в состав травителей должны входить вещества, окисляющие поверхность этих материалов и растворяющие образовавшиеся окислы. Кроме того, в травители вводят компоненты, назначением которых является ускорение или замедление реакции травления. После травления кристаллы тщательно промывают, а затем сушат. [33]
 |
Зависимость длительности травления от концентрации раствора FeClg при различных температурах. [34] |
Из рис. 6.3 видно, как введение соляной кислоты влияет на время травления. Когда концентрация растворенной меди становится больше 47 г. л НС1 подавляет образование Fe ( OH) 2 и способствует протеканию реакции травления. [35]
Травление с барбатированием воздуха по сути дела, представляет модифицированную технологию травления погружением. Пузырьки воздуха проходят через травитель и перемешивают его, обеспечивая подачу свежих порций раствора к поверхности платы и также удаляя продукты реакций травления. Кроме того, воздух обеспечивает подачу кислорода в ванну; кислород увеличивает эффективность травителя, дополнительно окисляя металл и регенерируя травитель. Более подробно это описано при рассмотрении травителей. [36]
Образовавшаяся в зоне смешения ПГС проходит в зазоре между вращающимися подложкодержателем и внутренней стенкой реактора и удаляется через отверстие в опорной плите. Опускание подложкодержателя вниз, в зону с температурой 400 - 600 С, позволяет травить подложки перед осаждением непосредственно в реакторе. По окончании реакции травления подложкодержатель возвращается в зону осаждения. [37]
В нем пластину подвергают одновременному воздействию химически активной среды и механических частиц. Последние удаляют продукты химических реакций с микровыступов на обрабатываемой поверхности, что ускоряет их стравливание. Давление полировального диска воздействует в первую очередь на микровыступы, что также ускоряет протекание реакций травления в этих точках. Этому способствует и подача к микровыступам свежих порций травителя, происходящая благодаря взаимному движению пластин и содержащего травитель полировального круга. [38]
Нерастворимые в воде фосфаты и фториды трудно разлагаются при кипячении с NasCOa; поэтому испытания на эти анионы следует делать с отдельными порциями исследуемого вещества. Для реакции на POJ3 лучше всего использовать ( NHOaMoCh, прибавляя его к раствору первоначального вещества в разб - HNOs. Ион F - обнаруживают в отдельной порции исследуемого вещества реакцией разложения водой Sip4 или реакцией травления стекла. [39]
Некоторые объясняли действие этой смеси на поверхность стекла тем, что стекло имеет микрокристаллическую структуру, которая проявляется в виде матовых изображений. Другие считали, что матовая поверхность ссстоит из прочно прилегающих к поверхности стекла кристалликов, образующихся в процессе реакции травления. В настоящее время механизм матового травления стекла хорошо изучен главным образом благодаря работе Тиллотсона [36], а также большому количеству экспериментального материала, полученного Хонигманом [16] и другими исследователями. Было показано, что матовое травление обусловлено взаимодействием фторидов с поверхностью стекла с образованием соединений, обладающих слабой растворимостью в стекле и поэтому легко кристаллизующихся. Получающиеся кристаллы защищают определенные участки поверхности от действия кислоты, в: последняя реагирует со стеклом лишь в незащищенных местах вокруг кристаллов. Таким образом, после смывания кислотной смеси на стекле остается шероховатая поверхность, рассеивающая свет и обеспечивающая матовый эффект. [40]
При травлении циркония и циркониевых сплавов используется травильный раствор, содержащий HF и HNO3; из этих двух кислот с металлическим цирконием реагирует только плавиковая кислота. Азотная кислота реагирует прежде всего с оловом, которое обычно входит в циркониевые сплавы и, кроме того, является источником ионов водорода, ускоряющих реакцию с HF. Если в травильный раствор не добавлять HNO3, на поверхности металлического циркония остается слой олова, препятствующий протеканию реакции травления. [41]
 |
Выпаривание рас творов в тигле. [42] |
Этой реакции мешают оксалаты и, несколько меньше, фосфаты, но последние не осаждаются ионами Са в уксуснокислом растворе. Реакцией можно пользоваться в отсутствие СгОГ, но положительный результат испытания следует проверить, сделав реакцию разложения SiF4 водой или реакцию травления стекла Подкислите 2 капли приготовленного раствора разбавленной НС1 и сделайте реакцию, как описано на стр. [43]
Фторид - и оксалат-ионы осаждают раствором Са44 з уксуснокислом растворе. Оба аниона обесцвечивают ализаринат циркония, и потому их необходимо разделить. Эти анионы более просто можно обнаружить, разделив осадок от Са4 на две части; одну из них испытывают на СгОГ, для чего осадок растворяют в HaSO4, нагревают раствор и прибавляют к нему KMnOd; другую часть осадка осторожно высушивают и испытывают на Р - реакцией разложения SiF4 водой или реакцией травления стекла. [44]
Механизм реакции травления меди в растворе хлорной меди идентичен механизму реакции травления в растворе хлорного железа. Однако скорость процесса относительно быстро падает за счет более интенсивного накопления хлористой меди. Введение в состав раствора соляной кислоты увеличивает не только рабочую емкость раствора, но и оказывает существенное влияние на скорость процесса за счет связывания хлористой меди в растворимый комплекс и подавления реакции гидролиза. Исследования показывают, что скорость реакции травления находится в прямо пропорциональной зависимости от концентрации соляной кислоты. За этим пределом скорость процесса остается постоянной, что необходимо учитывать при составлении и корректировке растворов, а также при расчете расходных норм. [45]
Страницы: 1 2 3 4