Cтраница 1
Электрические свойства пленок изменяются в широком диапазоне для различных материалов. У большинства пленок наблюдаются три различные области изменения удельного сопротивления пленки как функции ее толщины: первая область - толщина около 0 1 мкм и выше, удельное сопротивление соответствует сопротивлению массивного образца; вторая область - около Ю-2 мкм, удельное сопротивление больше массивного образца и ТКС приближается к нулю; третья область - около 10 - 3 мкм, характеризуется очень высоким удельным сопротивлением и отрицательным ТКС. [1]
![]() |
Частотно-температурные зависимости диэлектрической проницаемости и коэффициента мощности полиэтиленте-рефталатной пленки. а - частотная зависимость при 20 С. [2] |
Электрические свойства пленки могут быть заметно улучшены прогревом; термообработка при 200 С в течение 2 ч уже дает существенное улучшение характеристик. [3]
Обсуждаются электрические свойства пленок гидрогенизированных аморфных кремнийгермаииевых сплавов ( a - Si, ( ie: Н) в связи с их применением в технологии солнечных элементов, светодатчиков и тонкопленочных транзисторов. [4]
Обсуждаются электрические свойства пленок гидрогенизированных аморфных кремнийгерманиевых сплавов ( a - Si, - х ( ех Н) в связи с их применением в технологии солнечных элементов, светодатчиков и тонкопленочных транзисторов. [5]
По электрическим свойствам пленки РЬ5ежТе1 х р-типа мало уступают монокристаллам. Температурная зависимость холлов-ской подвижности для пленок РЬТео 4т5ео 5з и монокристаллов PbTe0 5Se0 5 n - типа ( по данным Иоффе и Стильбанса) представлена на фиг. Там же приведены значения коэффициента Холла. [6]
По электрическим свойствам пленки, получаемые посредством ионного распыления, аналогичны пленкам, создаваемым методом испарения. Пил и Меррэй [147] для интерпретации результатов измерений проводимости в сильном электрическом поле привлекают эффект Пула - Френкеля. [8]
Как изменяются электрические свойства пленки ПН-1 в процессе атмосферного старения, показано в таблице. [10]
![]() |
Изменение подвижности элект.| Распределение носителей по толщине пленок, легированных оловом. [11] |
В наших опытах электрические свойства пленок в зависимости от ориентации подложки отличались не более чем в 5 раз, а разница в скоростях роста практически не была заметной. Этим объясняется слабая зависимость скорости роста пленки из раствора от ориентации подложки. [12]
Основными требованиями к электрическим свойствам пленок являются высокое поверхностное сопротивление и возможно большая подвижность основных носителей заряда. Если первое определяет необходимую толщину d пленки полупроводника в ТПТ, то второе определяет высокочастотные свойства ТПТ. Для испарения полупроводниковых соединений используются некоторые разновидности ячеек Кнудсена, позволяющие получать пленки с более совершенным стехиометрическим составом. [13]
Было показано, что электрические свойства пленок не зависят от температуры полимеризации, но резко изменяются в зависимости от окружающей среды. [14]
В работе [118] исследованы электрические свойства пленок карбида молибдена кубической структуры. Изучено влияние толщины слоя, температуры подложки и скорости осаждения па удельное электрическое сопротивление и ТКС. [15]