Cтраница 1
![]() |
Колпаковые вакуумные печи.| Колпаковая водородная иечь. [1] |
Рабочая зона вакуумной кояпаковой печи с индукционным нагревом ( высокочастотной вакуумной печи) образована колпаком ( рис. 27) из тугоплавкого стекла или кварца, помещаемым на плоскую ( обычно металлическую) плиту. Колпак подсоединен к откачной системе. После откачки воздуха из-под колпака детали разогреваются токами высоксгн частоты. Для этого на колпак надевают ( с зазором) индуктор - катушку, соединенную с генератором высокой частоты. Иногда индуктор размещают внутри колпака. [2]
Первоначально в рабочей зоне печи создается температурный режим на 100 - 200 С ниже заданного и производятся загрузка и прогрев холодной лодочки с пластинами. Физико-химические процессы при данной температуре на поверхности пластин почти не происходят, поэтому неравномерность прогрева пластин не играет существенной роли. Второй этап характеризуется быстрым и равномерным нагревом пластин вместе с лодочкой до заданной температуры. При этом кинетика нагрева пластин и лодочки идентична, так как их тепловая инерция значительно меньше тепловой инерции нагревательной камеры. Это дает возможность осуществить качественную термообработку полупроводниковых пластин. [3]
Газовый анализ воздуха рабочей зоны печи, где обжигаются шламы, проводился с помощью аспиратора AM-5. При обжиге шламов из них выделяются такие вредные газы, как SO2, H2S, NH3, NO2, CO и СО2, их количество зависит от технологических процессов гальванических производств, но превышение ПДК для рабочей зоны наблюдалось только в шламе № 4 по NH3 и NO2 на 36 3 и 19 4 % соответственно. [4]
Разность температур в рабочей зоне печи составляет 5 - 6 С. [5]
Оптимальные тепловые градиенты в рабочей зоне печи, обеспечивающие получение совершенных кристаллов, как показывает расчет на электрической модели, составляют 2 - 3 град / см. При этом разность между средним значением температуры горизонтально ориентированного кристалла, расположенного в средней части тигля, и температурой подложки, на которой он растет, составляет величину порядка 3 град. [6]
![]() |
Футеровка индукционной вакуумной печи с керамическими экранами. [7] |
Теплоизоляционные свойства такой футеровки невелики, и поэтому тепловой поток из рабочей зоны печи на индуктор может достигать весьма большой величины. Это приводит к созданию значительного температурного градиента от внутренней к внешней поверхностей керамических деталей. [8]
По достижении стационарного режима подставку с пластинками кремния быстро вводят в рабочую зону печи. Иногда более удобно извлекать заготовки из печи спустя 3 мин. [9]
Вакуумная система калориметрической установки шлюзового типа и позволяет осуществлять введение образцов в рабочую зону печи и извлекать их из калориметрического блока без нарушения вакуума в остальных частях установки. [10]
Магнитопроводы с одинаковыми магнитными характеристиками могут быть получены только при одинаковой температуре по всей рабочей зоне печи. Температурный режим поддерживается с точностью 5 К автоматическим регулированием. [11]
В открытых печах для предотвращения образования воронки и шлаковой корки загружаемое сырье распределяют в рабочей зоне печи так, что его разогрев происходит в реакционной зоне вокруг электродов, где оно вступает в реакцию. Склонность сырья к образованию воронок С твердыми стенками вокруг электродов и между ними может приводить к выбросам и прорыву газов. В Кнапзаке полузакрытые печи оборудованы люками в наклонных стенках свода, обеспечивающими свободный доступ внутрь печи; для периодического дробления твердых перемычек в печной шихте, образующихся в результате накопления окиси алюминия и двуокиси кремния, на один пли на два часа в неделю включают вытяжную газодувку. [12]
Одинаковые по магнитным свойствам изделия могут быть получены только в случае одинаковой температуры во всей рабочей зоне печи. Перепад температуры не должен превышать 10 С. [13]
![]() |
Образцы для испытания на ползучесть. [14] |
Внутренний диаметр муфеля должен быть минимальным для улучшения теплопередачи от нагревателя к образцу, а длина рабочей зоны печи в 4 - 6 раз больше расчетной длины образца. [15]