Высоковакуумная система

Cтраница 1

Высоковакуумные системы предназначены для получения давлений ниже 5 - 10 - 5 Па и должны удовлетворять ряду требований. [1]

Откачная система, рабо -.. rpffl O [ - M ] f. [2]

Высоковакуумная система выполнена только из металлических элементов и соединений, включая вакуумные уплотнения, в качестве которых применяют металлические прокладки. [3]

Современные высоковакуумные системы характеризуются очень высокой герметичностью, без которой невозможно получать предельно низкие разрежения. Некоторая сложность в технике течеискания возникает при использовании масс-спектрометрических течеискателей в установках, оборудованных только адсорбционными насосами. Проверку герметичности таких установок лучше производить перед охлаждением насоса, когда установка откачивается насосом предварительного разрежения. [4]

Наименование высоковакуумные системы относится к установкам, в которых можно получать разрежение газа до давлений ниже IjjiHg. Установки, позволяющие получать такие давления, следует, пожалуй, называть сверхвысоковакуумными. В настоящей главе рассматриваются только высоковакуумные установки. [5]

Схема гелиевого течеискателя. [6]

В разборных высоковакуумных системах, типа той, что представлена на рис. 87, для подсоединения к входу ГТ обычно используются два определенных участка системы. Первый - это линия предварительной откачки между камерой и вращательным насосом, а второй - линия предварительного разрежения, связывающая механический и диффузионный насосы. Для подсоединения к ГТ на обоих указанных участках системы должны быть предусмотрены вакуумные вентили со штуцерами длиной около 5см и наружным диаметром около 20 мм. [7]

Очистка деталей высоковакуумных систем осуществляется последовательной промывкой в двух сменах трихлорэтилена ( бензина), ацетона и в двух сменах метилового ( этилового) спирта. [8]

Общая производительность высоковакуумной системы определяется расчетным числом одновременно работающих постов ручной сварки и типом применяемых пылегазоприемников. [9]

Обычно в высоковакуумных системах пользуются впаями металла в стекло. В литературе описывался ряд таких впаев для высоковольтных вводов. Однако хрупкость и недостаточное сопротивление срезывающему усилию делают стекло во многих случаях непригодным. По этой причине были разработаны спаи керамических материалов ( обычно фарфора) с металлом. Во многих случаях используется уплотнение с резиновой прокладкой, причем уплотнение производится между стенкой вакуумной системы и изолирующей керамикой. Такие уплотнения обычно применяются в больших металлических системах. Разумеется, при этом должно быть предусмотрено соответствующее крепление, чтобы равномерно зажать изолятор по отношению к стенке вакуумной системы. Крепление электрических вводов также должно отвечать этому требованию. К обычным предосторожностям при уплотнении с прокладкой, используемой в данном случае, необходимо добавить, что при установке следует проявить особую аккуратность, чтобы избежать механических натяженпй в изоляторе. Такой способ уплотнения также применим для стеклянных и кварцевых изоляторов. [10]

В таких больших и сложных высоковакуумных системах, как автоэлектронный-автоионный микроскоп, целесообразно применение кассет, позволяющих помещать в вакуумную камеру сразу несколько образцов, что существенно сокращает время исследований. Для работы в сверхвысоком вакууме была разработана поворотная кассета для образцов [114] ( рис. 2.12), которая позволяет вставлять в вакуумную камеру сразу 6 образцов с независимым электрическим подключением, производить нагрев образца вплоть до температуры плавления и охлаждать до гелиевой температуры. При этом каждый образец может быть выведен в рабочее положение напротив люминесцентного экрана и повернут относительно двух взаимно перпендикулярных осей так, что вершина образца находится всегда в точке пересечения осей, что необходимо при работе с зондовыми отверстиями. [11]

Установка состоит из высоковакуумной системы, соединенной с рабочим объемом, в который герметично вставлены несколько токоподво-дящих вводов. Рабочий объем, изготовленный, как правило, из стали, охлаждается водяной рубашкой. В установке, кроме того, имеется высоковольтный блок, позволяющий проводить очистку полупроводниковых пластин в поле тлеющего разряда. [12]

Проектировщики и операторы высоковакуумных систем всегда заинтересованы я уменьшении числа соединений в линии. В то же время в процессе работы всегда приходится припаивать или отпаивать соединения линии ручной горелкой, так что оператор обязан иметь хоти бы минимальные навыки стеклодувного мастерства. Мы не будем давать никаких общих указаний, поскольку существуют много пособий и книг, специально посвященных стеклодувным работам, а отмстим лишь несколько специальных вопросов, которые обычно не рассматриваются в общих курсах. Проблемы и методики, связанные с обнаружением и устранением утечек в вакуумных линиях, обсуждаются в следующей главе. [13]

Реакцию проводят в высоковакуумной системе, состоящей из вакуумной гребенки, соединенной с насосом, манометра, двух вводов для ацетилена и азота, вывода, присоединенного к реакционной колбе, снабженной подвесной индукционной мешалкой ( примечание 1) и насадкой с капельной воронкой и боковым отводом с пробкой. [14]

При вводе в эксплуатацию высоковакуумных систем обычно сталкиваются с тем фактом, что быстрота их откачки значительно отличается от расчетной в худшую сторону, а требуемый вакуум не достигается. Эти симптомы свидетельствуют, как правило, о наличии в системе течей. Газовый поток в вакуум через узкие поры или каналы по своему механизму обычно бывает молекулярным или молекулярно-вязкостным, см. разд. И хотя количество натекающего газа относительно невелико, оно существенно меняет рабочие характеристики системы. [15]

Страницы: 1 2 3 4