Высоковакуумная система

Cтраница 3

В большинстве случаев детали из ковара в высоковакуумных системах выполняют роль переходов между тугоплавким стеклом и металлическими деталями. Соединение деталей из ковара с металлическими деталями, как правило, осуществляется пайкой твердыми припоями в водородной печи ( пайка со сталью, никелем, чистым серебром), а арогоно-дуговой сваркой - с нержавеющей сталью. [31]

Схематическое изображение процесса непрерывного напыления на пластиковую ленту.| Многокамерная система непрерывного напыления на плоские заготовки ( с дифференцированной откачкой. [32]

Для изготовления многослойных микроэлектронных схем чаще всего используются разборные высоковакуумные системы последовательного типа. На типичной установке, представленной на рис. 93, источники закреплены, а держатель подложек может перемещаться. Конфигурации напыляемых плевок задаются масками, закрепленными на нижнем поворотном устройстве, обеспечивающем нужную последовательность совмещения масок с подлож-ками. [33]

Неожиданностью для многих экспериментаторов зачастую является характерная длл высоковакуумных систем замедленность процессов теплопередачи в газовых средах, обусловленная почти полным отсутствием конвекции. С этим приходится часто сталкиваться при закупорке внутренних трубок охлаждаемых ловушек замороженным веществом. Если заведомо известно, что это вещество не реагирует с компонентами воздуха, процесс размораживания можно значительно ускорить, вводя микродозы воздуха с обеих сторон блокиропа иного участка трубки. [34]

В холодный день, перед тем как повернуть краны высоковакуумной системы, слегка нагревают их теплым воздухом, чтобы размягчить смазку. Нельзя сильно нагревать смазку, так как она может вытечь из крана. [35]

Присущая литым металлам пористость делает их нежелательными конструктивными материалами высоковакуумных систем. [36]

Однако этот путь синтеза неудобен из-за необходимости работы с высоковакуумными системами. [37]

Для получения низкого вакуума и создания предварительного разрежения в высоковакуумных системах применяют ротационные вакуумные насосы с масляным уплотнением. Масло в насосах этого типа выполняет несколько функций: смазывает трущиеся поверхности, уплотняет зазоры, заполняет вредный объем в конце процесса сжатия, а также охлаждает насос. [38]

Газохроматографическое исследование состава обратного потока жидкости и газов в высоковакуумных системах. Найдено, что состав углеводородов не отличается от первоначального, но добавляются пики легких углеводородов. [39]

Схема включения манометра.| Упрощенная конструкция манометра. [40]

Благодаря отсутствию шлифов и вакуумных уплотнений такой манометр удобно использовать в высоковакуумной системе. [41]

Навеску вещества помещают в стеклянный шарик емкостью 170 мл, соединенный с высоковакуумной системой. В шарик конденсируют хлористый водород в количестве, примерно эквивалентном навеске оловоорга-нического соединения. Через определенный промежуток времени летучие продукты удаляют, непрореагировавший хлористый водород отделяют пропусканием газа над сухим едким натром и после высушивания остаток анализируют методами газовой хроматографии и ИК-спектроскопии. Оловоорга-ническое соединение вновь обрабатывают хлористым водородом и продукты анализируют тем же способом. [42]

Как правило, тонкопленочные структуры изготавливаются путем последовательного проведения целой серии отдельных операций в разборных высоковакуумных системах, типа тех, что были описаны в разд. Однако встречаются ситуации, когда весь процесс должен быть проведен в течение единого непрерывного технологического цикла. Это может возникнуть, например, при необходимости нанесения пленок на большое число подложек и особенно, если каждая из них имеет большую площадь поверхности. [43]

В первом случае спектроскопически чистый окисляющий газ подают к обезгаженному, очищенному кристаллу графита в высоковакуумной системе. Платиновую лодочку, содержащую кристаллы графита, помещают в абсолютно чистый кварцевый реакционный сосуд, соединенный с остальной частью установки, изготовленной из стекла пирекс, посредством перехода кварц - стекло. [44]

Особенностью конденсаторов для улавливания паров рабочих жидкостей насосов, а также других жидкостей, присутствующих в высоковакуумных системах, в том числе и паров воды, является их работа в условиях высокого вакуума при Л d; при этом для расчета таких ловушек достаточно пользоваться уравнением ( 19), выведенным для высокого вакуума, так как коэффициент затвердевания в таких условиях приближается к единице. [45]

Страницы: 1 2 3 4