Cтраница 1
Скорость напыления определяет структуру пленки, величину и ориентацию кристаллов, а следовательно, электрофизические параметры тонкопленочных элементов. [1]
Скорость напыления алюминия составляет примерно 10 - 5 Г / см2 сек. [2]
Влияние скорости напыления ( Vu) нихрома на свойства напыляемых пленок в связи с этим очень сложно. [4]
Для измерения скорости напыления может быть применен ионизационный манометр обращенного типа, коллектор и сетка которого легко прогреваются аналогично прогреву сетки в обычных ионизационных манометрах. [5]
![]() |
Измерение скорости напыления ионизационным манометром. [6] |
При ионизационном методе скорость напыления вещества определяется посредством измерения ионного тока паров этого вещества. Перед манометром помещается заслонка, прерывающая поток паров с частотой 10 - 20 Гц. Пары вещества импульсами попадают в объем ионизационного манометра. В цепи коллектора манометра протекают два тока: постоянный ионный, характеризующий давление в вакуумной системе, и переменный, характеризующий режим испарения. Переменная составляющая ионного тока усиливается узкополосным усилителем и является мерой скорости испарения. [7]
Метод позволяет контролировать и скорость напыления пленки. Для управления процессом напыления при таких скоростях применяются автоматические установки, которые контролируют толщину напыляемой пленки, производят запись режимов на самописце и прекращают напыление по достижении заданной толщины посредством включения заслонки. [8]
Схема устройства для контроля скорости напыления: / - рамка чувствительного гальванометра; 2 - легкая пластина; 3 - поток частиц; 4 - измерительный прибор и источник питания устройства. [9]
Было обнаружено, что при скорости напыления около 225 А / с и температуре подложки около 275 С сопротивление хрома может быть приблизительно в 2 раза больше, чем для массивного материала. [11]
С увеличением диэлектрической проницаемости растворителя скорость напыления уменьшается. [12]
Важный фактор технологического процесса - скорость напыления может быть проверена с помощью установки, показанной на фиг. [13]
![]() |
Параметры тонкопленочных сопротивлений. [14] |
Большое влияние на свойства пленок оказывает скорость напыления. [15]