Скорость - напыление - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 1
Женщина верит, что дважды два будет пять, если как следует поплакать и устроить скандал. Законы Мерфи (еще...)

Скорость - напыление

Cтраница 1


Скорость напыления определяет структуру пленки, величину и ориентацию кристаллов, а следовательно, электрофизические параметры тонкопленочных элементов.  [1]

Скорость напыления алюминия составляет примерно 10 - 5 Г / см2 сек.  [2]

3 Зависимость ухода сопротивления хромовых резисторов в процессе испытаний при 7 п 125 С, Р д 15 - 7 - 20 мВт / мм2 для различных значений PQ.| Зависимость состава пленки нихрома от температуры испарителя ( Т1. [3]

Влияние скорости напыления ( Vu) нихрома на свойства напыляемых пленок в связи с этим очень сложно.  [4]

Для измерения скорости напыления может быть применен ионизационный манометр обращенного типа, коллектор и сетка которого легко прогреваются аналогично прогреву сетки в обычных ионизационных манометрах.  [5]

6 Измерение скорости напыления ионизационным манометром. [6]

При ионизационном методе скорость напыления вещества определяется посредством измерения ионного тока паров этого вещества. Перед манометром помещается заслонка, прерывающая поток паров с частотой 10 - 20 Гц. Пары вещества импульсами попадают в объем ионизационного манометра. В цепи коллектора манометра протекают два тока: постоянный ионный, характеризующий давление в вакуумной системе, и переменный, характеризующий режим испарения. Переменная составляющая ионного тока усиливается узкополосным усилителем и является мерой скорости испарения.  [7]

Метод позволяет контролировать и скорость напыления пленки. Для управления процессом напыления при таких скоростях применяются автоматические установки, которые контролируют толщину напыляемой пленки, производят запись режимов на самописце и прекращают напыление по достижении заданной толщины посредством включения заслонки.  [8]

Схема устройства для контроля скорости напыления: / - рамка чувствительного гальванометра; 2 - легкая пластина; 3 - поток частиц; 4 - измерительный прибор и источник питания устройства.  [9]

10 Индукционный испаритель.| Удельное сопротивленне пленок хрома в зависимости от температуры подложки и скорости напыления ( на графике числовые значения равны отношениям удельного сопротивления пленок к удельному сопротивлению массивного материала. [10]

Было обнаружено, что при скорости напыления около 225 А / с и температуре подложки около 275 С сопротивление хрома может быть приблизительно в 2 раза больше, чем для массивного материала.  [11]

С увеличением диэлектрической проницаемости растворителя скорость напыления уменьшается.  [12]

Важный фактор технологического процесса - скорость напыления может быть проверена с помощью установки, показанной на фиг.  [13]

14 Параметры тонкопленочных сопротивлений. [14]

Большое влияние на свойства пленок оказывает скорость напыления.  [15]



Страницы:      1    2    3    4