Cтраница 4
В [144] исследованы особенности, роста пленок теллурида свинца при лазерном напылении. Для этой технологии характерны большая энергия частиц в паровой фазе и сверхвысокая скорость конденсации. Напыление производилось на неподогреваемую подложку из NaCl в вакууме 10т6 Тор, плотность потока энергии изменялась от 109 до 3 - 1010 Вт / см2, за один лазерный импульс напылялся слой РЬТе толщиной 20 нм. При плотности потока энергии 109 Вт / см-2 конденсировалась мелкодисперсная неориентированная структура, в то время как по данным [66] на NaCl при комнатной температуре подложки образовывается текстурирован-пая поликристаллическая пленка РЬТе. Это различие объясняется большой скоростью осаждения вещества при лазерном напылении, подавляющей миграцию частиц по подложке и затрудняющей рост зародышей. [46]
В [144] исследованы особенности роста пленок теллурида свинца при лазерном напылении. Для этой технологии характерны большая энергия частиц в паровой фазе и сверхвысокая скорость конденсации. Напыление производилось на неподогреваемую подложку из NaCl в вакууме 10т6 Тор, плотность потока энергии изменялась от 109 до 3 - 1010 Вт / см2, за один лазерный импульс напылялся слой РЬТе толщиной 20 нм. При плотности потока энергии 109 Вт / см-2 конденсировалась мелкодисперсная неориентированная структура, в то время как по данным [66] на NaCl при комнатной температуре подложки образовывается текстурирован-ная поликристаллическая пленка РЬТе. Это различие объясняется большой скоростью осаждения вещества при лазерном напылении, подавляющей миграцию частиц по подложке и затрудняю щей рост зародышей. [47]