Cтраница 2
![]() |
Характеристические кривые позитивного фоторезиста ФП-383 при проявлении в проявителях разной концентрации.| Фотографические параметры позитивно. [16] |
Определение разрешающей способности фоторезистов весьма сложная задача, поскольку окончательным результатом фотолитографии является не создание рельефа защитного изображения из пленки фоторезиста, а передача изображения на подложку. [17]
Кроме приведенных способов продвижения ЦМД известны и другие, например структурные, основанные на создании определенного рельефа энергии в самой пластине. [18]
Расщепление связей и образование кислот, а также нитрозо-производных под действием света является химической основой процессов создания рельефов при экспонировании слоев с такими соединениями. Образовавшаяся при экспонировании нитрозобен-зойная кислота катализирует сшивание многих полимеров, в том числе и резольной смолы [ пат. Великобритании 2100872 ]; выделяющиеся при фотолизе о-нитробензиловых эфиров кислоты, а из образующихся карбаминовых кислот - амины могут термоотвер-ждать эпоксисоединения. Эти реакции позволяют создать негативные резистные слои, в том числе и для пленочных материалов [ пат. [19]
Расщепление связей и образование кислот, а также нитроз производных под действием света является химической основе процессов создания рельефов при экспонировании слоев с таким соединениями. Образовавшаяся при экспонировании нитрозобе ] зойная кислота катализирует сшивание многих полимеров, в то числе и резольной смолы [ пат. Великобритании 2100872 ]; выд ( ляющиеся при фотолизе о-нитробензиловых эфиров кислоты, а к образующихся карбаминовых кислот - амины могут термоотве ] ждать эпоксисоединения. Эти реакции позволяют создать негати ] ные резистные слои, в том числе и для пленочных материале [ пат. [20]
Установлено, что осаждение Cu2 xSe на подложки, нагретые до невысокой температуры ( - 160 С), и создание рельефа на поверхности пленки CdS ( путем ее травления в НС1 перед осаждением способствуют улучшению характеристик элементов. [21]
Основными достоинствами этих материалов в качестве регистрирующей среды являются высокая разрешающая способность, стабильность и возможность получения фазовой голограммы ( путем создания рельефа), что обеспечивает высокую эффективность восстановленного изображения. Однако основная доля чувствительности позитивных фоторезистов приходится на ультрафиолетовую и фиолетовую часть спектра, так что при экспонировании в красной области спектра ( например, с помощью гелий-неонового лазера) время экспозиции недопустимо большое. [22]
При проектировании трубопроводов диаметром 1020 мм и более, обладающих большой жесткостью, необходимо предусматривать планировку строи-ельной полосы ( микрорельефа) с целью создания рельефа местности, благо-риятного для укладки труб. Из условия беспрепятственного ведения строи-ельно-монтажных и транспортных работ, а такжо параметров траншеи и от-ала ширину планировки, как правило, следует принимать равной ширине: олосы отвода на период строительства трубопровода. [23]
![]() |
Микроструктура поверхностного слоя сплава ВТ1 - 1. [24] |
Ну - Ш кгс / мм; б - плоское шлифование ( Ну 277 кгс / мм) в - обкатывание торцовой поверхности ( Р 10 кгс; ш - 5.6 мм; S0 097 мм / об; - Ю об / мин - Яу-286 кгс / мм2); г - виброобкатывание с созданием рельефа вида IV. [25]
Травление в этом случае изотропное. Оно используется для создания рельефов в слоях Сг, Мо и в основном для удаления резистов в кислородной плазме. Если ионы создаются инертным газом, например Аг2 то говорят об ионном травлении ( ИТ) или травлении распылением. Во всех процессах принимают участие ионы и радикалы, поэтому термины ПХТ, ИХТ и ИТ не вполне строги. [26]
Травление в этом случае изотропное. Оно используется для создания рельефов в слоях Сг, Мо и в основном для удаления резистов в кислородной плазме. Если ионы создаются инертным газом, например Аг2, то говорят об ионном травлении ( ИТ) или травлении распылением. Во всех процессах принимают участие ионы и радикалы, поэтому термины ПХТ, ИХТ и ИТ не вполне строги. [27]
![]() |
Запись волоконных брэгговских решеток топографическим методом и методом фазовой маски. [28] |
Механизм записи брэгговских решеток в германо-силикатных волоконных световодах на данный момент еще недостаточно изучен. Было предложено две гипотезы, объясняющие создание фазового рельефа в сердцевине волоконного световода. Причина изменения показателя преломления состоит в том, что сердцевина германо-силикатного световода находится под воздействием механического напряжения, возникающего вследствие наличия разницы в коэффициентах теплового расширения между материалами сердцевины и оболочки. Возникшее механическое напряжение уменьшает показатель преломления сердцевины волокна, а снятие механического напряжения приводит к увеличению показателя преломления. [29]
![]() |
Создание рисунка в пленке с использованием негативного маскирующего покрытия. [30] |