Стенка - корпус - насос
Cтраница 5
 |
Зависимости давления паров Генерирующих металлов от температуры. ( По Несмеянову. [61] |
Кроме того, металл должен адсорбировать все, за исключением инертных, обычные газы, а продукты их адсорбции должны стать стабильными. Джексон и Хаас [107] исследовали генерирующие свойства ряда металлов, исходя именно из этих критериев. Они наносили металл на стенки геттерной колбы с помощью взрывного испарения и измеряли скорости захвата Hj, CO, СН4, и Н2О при начальном давлении 10 - мм рт. ст. Наиболее эффективным геттером оказался тантал, который захватывает На и СО вдвое быстрее, чем следующие за ним по эффективности материалы, такие как титан и молибден. Что же касается первого критерия, то как следует из рис. 25, на котором представлены кривые давления паров, легче других испаряются титан и ванадий Несмотря на то, что титан является наиболее эффективным геттером, для этих целей он используется редко из-за очень высоких температур его испарения. Однако в большинстве используемых на практике геттерных насосов применяются пленки титана. Вследствие этого большая часть титановых геттерных насосов также, как и один из его вариантов, показанный на рис. 26, работает в режиме сублимации. Конструкция стенок корпуса насоса позволяет использовать охлаждение проточной водой или жидким азотом. В качестве источника паров служит нагреваемая проходящим током танталовая проволока Для получения достаточно высоких скоростей сублимации с относительно небольшой поверхности проволоки источник работает в температурном режиме, предельно близком к расплавлению. [62]
Подача проволоки производится периодически на величину 4 8 мм с помощью реле времени. Проволока поступает в испаритель 2 и попадает в расплавленную зону титановой капли. Нагрев капли производится бомбардировкой электронами, испускаемыми кольцевым катодом. Испаряющийся титан конденсируется на стенках корпуса, где он образует непрерывна нарастающий слой. Поступающий из откачиваемого объема газ ионизируется в ионизаторе 3 с помощью электронов, испускаемых накаленным катодом, которые колеблются в разрядном промежутке между анодом и корпусом насоса. Колебания электронов происходят по сложным траекториям под действием скрещенных электрического и магнитного полей. Магнитное поле создается соленоидом. Часть образующихся в разрядном промежутке ионов направляется электрическим полем на стенки корпуса насоса, где внедряется в постепенно нарастающий слой титана. Таким образом, работа насоса происходит за счет поглощения газов слоем титана, которое активизируется за счет ионизации. [63]
Страницы: 1 2 3 4 5