Cтраница 2
Что определяет тензочувствительность резистивных полупроводниковых тензодатчиков к давлению - изменение геометрических размеров тензорезистора или изменение удельного электрического сопротивления материала тензорезистора. [16]
Ниже дается описание проволочных и полупроводниковых тензодатчиков. [17]
В данной главе рассматриваются проволочные, фольговые, пленочные и полупроводниковые тензодатчики, относящиеся к параметрическим датчикам. В них выходной сигнал формируется за счет изменения активного сопротивления. Поэтому их называют еще тензорезисторами. Для измерения деформаций используются и тензометрические датчики, основанные на других принципах: маг-нитоупругие датчики ( рассмотрены в § 6.5) и струнные датчики ( рассмотрены в гл. [18]
Описаны физические принципы создания полупроводниковых тензодатчиков, даны основные сведения по технологии изготовления датчиков, приведены их параметры и характеристики. [19]
Определена область целесообразного применения полупроводниковых тензодатчиков и приведены примеры их использования. [20]
Пожалуй, основным отличием полупроводниковых тензодатчиков от проволочных является большое ( до 50 %) изменение сопротивления тензодатчика при деформации. Это отличие определяет интерес к полупроводниковым тензодатчикам, позволяет использовать их там, где проволочные тензодатчики непригодны. [21]
В практике измерений посредством полупроводниковых тензодатчиков, кроме мостовой схемы, рассмотренной выше, используются другие схемы. [22]
Одним из основных преимуществ полупроводниковых тензодатчиков является их высокая чувствительность и сравнительно большая мощность выхода, благодаря чему удается избавиться от громоздких и вносящих искажения усилителей. Сигнал, получаемый на измерительной диагонали моста, как правило, оказывается достаточным для его непосредственного измерения или преобразования в другую форму. [23]
Одним из перспективных применений полупроводниковых тензодатчиков является измерение напряжений и деформаций, возникающих во вращающихся частях машин и механизмов. Проблема токосъема при измерениях на вращающихся деталях с использованием полупроводниковых тензодатчиков решается проще, чем при использовании проволочных датчиков, за счет большой величины выходного сигнала. [24]
Таким образом, для полупроводниковых тензодатчиков может применяться наименее чувствительная и, следовательно, более простая аппаратура. [25]
Преобразователи механических величин, использующие полупроводниковые тензодатчики, выпускаются в настоящее время серийно рядом зарубежных фирм. [26]
Значительно большие коэффициенты k имеют полупроводниковые тензодатчики. [27]
![]() |
Конструкция кольцевого потенциометра ( а. схема потенциометриче-ского датчика ( б и его статическая характеристика ( б. [28] |
В настоящее время широко используются проволочные, фольговые и полупроводниковые тензодатчики. [29]
Один из перспективных способов изготовления полупроводниковых тензодатчиков основан на способности полупроводников образовывать р-л-переходы, создавая электрически изолированные области. [30]