Травление - германий
Cтраница 1
Травление германия при нормальной температуре в любых полирующих составах, например в смесях азотной и плавиковой кислот, при недостаточном перемешивании дает неровные, волнистые поверхности. Обычно травители, содержащие перекись водорода, дают хорошие результаты, но после обработки ими поверхность германия приобретает текстуру, показанную на фиг. Такая текстура не мешает вплавлению, но может скрывать дефекты кристаллической решетки полупроводникового материала, которые влияют на качество переходов. [1]
Травление германия и кремния основано на использовании сильных окислителей, например азотной кислоты или перекиси водорода в смеси с веществом, которое растворяет окислы по мере их образования. Обычно для этой цели используют плавиковую кислоту. [2]
Для травления германия при пониженных температурах хорошие результаты дает применение брома. [4]
Для травления германия можно применять многие водные - растворы солей, кислот и щелочей. Это значит, что для растворения каждого атома снятого слоя германия требуются четыре электрона. [5]
Кинетика травления германия в СР-4 полностью подчиняется электрохимическому механизму и во многом подобна кинетике саморастворения кремния в смеси HNO3 - HF, рассмотренной ранее. [6]
Процесс травления германия подчиняется закономерностям смешанной кинетики. [7]
Интенсивность травления германия в HG1 и GeCU при прочих равных условиях возрастает по мере повышения корня квадратного из угловой скорости вращения образца. При неподвижном образце ( со0) скорости реакции не обращаются в нуль, так как естественная конвекция в газе обеспечивает доставку реагентов к поверхности образца с некоторой конечной скоростью. В то же время линейная зависимость v от / ш при больших со указывает на диффузионный режим кинетики травления. [8]
Кинетические закономерности травления германия и соединений AII [ BV в кислых растворах хлорного железа находятся в соответствии с представлениями о строении этих соединений и природе химической связи в них. [9]
Все предложенные для травления германия и кремния смеси содержат в качестве обязательного компонента какой-либо сильный окислитель, например перекись водорода или азотную кислоту. [10]
Помимо различной скорости травления германия р - и - типа, электрохимическое травление обладает рядом других особенностей. [11]
 |
Изменение скорости травления германия во времени.| Зависимость скорости травления германия от. [12] |
Температурная зависимость скорости травления германия в хлористом водороде также подчиняется уравнению Лррениуса. Кажущаяся энергия активации этого процесса равна - 30 ккал / моль. [13]
Скорость и характер травления германия или кремния определяются соотношением между единичными скоростями окисления, взаимодействия окислов и растворителей, а также диффузии. [14]
Характер зависимости скорости травления германия в атмосфере аргона дает основание полагать, что поверхностные реакции играют решающую роль и что с увеличением потока аргона адсорбция Gel4 уменьшается. [15]
Страницы: 1 2 3 4