Травление - германий
Cтраница 3
На рис. 4 представлены экспериментальные результаты изменения скорости травления германия в атмосфере GeCh при различных температурах. [31]
На рис. 7 - 34 приведены поляризационные характеристики травления германия л-типа и р-типа. Ток / пропорционален скорости травления, так как плотность тока, умноженная на число Фарадея, дает число кулонов прошедшего электричества, а последнее определяет количество растворенного вещества. [32]
 |
Высокочастотный транзистор. [33] |
При способе Philco, представленном на рис. 6, путем травления германия получают очень тонкий слой, в который уже обычным путем вплавляются эмиттер и база. Граничная частота транзисторов, изготовляемых этим методом, может быть доведена до 1 000 Мгц. В США этот способ широко автоматизирован и до последнего времени играет большую роль. Вероятно в будущем он будет заменен меза-способом, основанным на диффузии, который обеспечивает такую же граничную частоту, но значительно большие мощности. [34]
Пугх и Самуэльс [33 ] советуют применять раствор СР-4 также для травления германия. Велер и Ханеманн [41 ] пользуются раствором СР-4 для химического травления дырок в германии и кремнии. [35]
В связи с этим весьма целесообразна разработка принципиально отличных методов травления германия, связанных с образованием пленок сульфидов, нитридов, карбидов и других устойчивых соединений германия. [36]
 |
Стандартные свободные энергии Д.. различных реакций при 500 и 1000 К. [37] |
В атмосфере аргона при tn 450 - 800 С наблюдается лишь травление германия. [38]
При высокой температуре германиевой подложки в присутствий паров иода наряду с осаждением кремния происходит травление германия. [39]
 |
Смеси на основе плавиковой и азотной кислот для обработки кремния. [40] |
При обработке кремния кислотным травителем кислоты HF и HNO3 выполняют те же функции, что и при травлении германия: HNO3 - окислитель, HF - растворитель окислов, СН3СООН - замедлитель реакции. [41]
 |
Константы равновесия реакций осаждения и травления при росте германия из системы ОеСЦ - Н2. [42] |
Реакция ( 4 - 21) ответственна за осаждение, а ( 4 - 22) - за травление германия. [43]
 |
Набор теоретических рекомбинационных кривых, соответствующих. [44] |
В заключение необходимо специально отметить, что проведенные исследования убедительно показывают нерациональность общепринятых методов обработки поверхности германия и германиевых приборов. Окислительно-растворительные травления германия приводят к образованию неустойчивой пленки окисных соединений германия, которая резко изменяет свои свойства при изменении окружающих условий. [45]
Страницы: 1 2 3 4