Травление - германий
Cтраница 2
В учебном лабораторном опыте травление германия не осуществляют вследствие дороговизны и дефицитности германия. Опыт с травлением меди более доступен и достаточно нагляден. [16]
В качестве электролита для травления германия применяют водный раствор КОН или NaOH. Применение их вызвано тем, что металлы, составляющие конструкцию переходов и приборов - индий, никель и др., в щелочи не растворяются и их ионы не загрязняют раствор. [17]
 |
Зависимость обратного тока диода от влажности окружающей среды для переходов, обработанных химическим ( / и электрохимическим ( 2 травлением. [18] |
Большое влияние на скорость травления германия, особенно я-типа, имеет освещение. [19]
В качестве катода при травлении германия и кремния используют золото, серебро, никель, вольфрам в виде тонкой проволоки. Например, при электрохимической резке применяют вольфрамовую проволоку диаметром - 80 мкм. Катод устанавливают в непосредственной близости от поверхности полупроводника. Это обеспечивает травление лишь узкой области вблизи катода. Так удается нарезать пластинки германия толщиной 0 025 мм и протравливать отверстия в пластинках толщиной 0 4 мм. [20]
В качестве катода при травлении германия и кремния используют золото, серебро, никель, вольфрам. Например, при электрохимической резке применяют вольфрамовую проволоку диаметром - 80 мкм. Катод устанавливают в непосредственной близости от поверхности полупроводника. Это обеспечивает травление лишь узкой области вблизи катода. Так удается нарезать пластинки германия толщиной 0 025 мм и протравливать отверстия в пластинках толщиной 0 4 мм. [21]
Установлено, что в случае травления германия смесью плавиковой и азотной кислот при концентрации азотной кислоты меньшей шести нормальных растворов реакция идет с катодным контролем, так как недостаток азотной кислоты ограничивает поступление дырок в раствор. Если раствор имеет азотной кислоты больше шести нормальных растворов, то реакция идет с анодным контролем, так как в этом случае дырок достаточно и лимитирующим является анодный процесс. [22]
Сравнение экспериментальных значений D при травлении германия тетрахлоридом с табличными данными для других двух - и трехатомных газов [4] показывает, что наши данные заметно ниже литературных. По-видимому, это связано с тем, что хлориды германия в газе, подобно другим хлоридам [5], проявляют склонность к полимеризации и их подвижность должна быть соответственно ниже. Кроме того, точность расчетов D в значительной мере зависит от достоверности термодинамических данных. [23]
Состав большинства растворов, применяемых для травления германия и кремния, подобран эмпирическим путем, а механизм происходящих при травлении процессов изучен слабо. [24]
Первая из этих реакций используется для травления германия ( см. гл. [25]
Первая из этих реакций используется для травления германия. [26]
Низкие энергии активации процессов роста и травления германия, а также зависимости скорости роста от скорости потока дают основание предполагать, что при осаждении и травлении в атмосфере водорода в области высоких температур определяющую роль играет перенос вещества. Это подтверждается также и отмеченными ранее наблюдениями за структурой поверхности слоев. Вместе с тем при низких температурах важную роль должны играть поверхностные процессы. Однако изменение вида температурной зависимости, характерное для смены механизма процесса роста, в работе [55] не наблюдалось. [27]
Щелочные растворы перекиси водорода применяются для травления германия при изготовлении полупроводниковых приборрв. Однако механизм этой реакции почти не изучен. Некоторые авторы [1] связывают процесс травления германия с атомарным кислородом, выделяющимся при разложении перекиси водорода в щелочной среде. Другие [2] считают, что реакционными частицами в этой среде являются ионы НОГ-В этих работах изучалась лишь зависимость скорости растворения германия от концентрации щелочи и не учитывалось изменение концентрации перекиси водорода во время реакции за счет разложения. [28]
В предыдущем разделе было указано на различную скорость травления германия п - и р-типа. [30]
Страницы: 1 2 3 4