Подколпачное устройство

Cтраница 3

Основанием служит стальной сварной каркас, закрытый металлическими панелями и панелями пульта управления. Колпак с подколпачным устройством ( рис. 74) расположен на верхней панели, а внутри каркаса смонтированы все остальные системы и элементы. Для наблюдения за процессом напыления колпак имеет два смотровых окна, а снаружи он обвит змеевиком, предназначенным для пропускания по нему горячей или холодной воды. На цилиндрической части расположены два натекателя. На колпаке находится электродвигатель /, служащий для привода с помощью рычага 2 карусели подложек и масок 18, находящейся под колпаком. Под колпаком расположены карусель подложек и масок 18, нагреватель подложек 4, устройство для очистки подложек 7, карусель испарителей 14 с экранами 16 и заслонка с электромагнитным приводом. [31]

В системе охлаждения установки, предназначенной для охлаждения проточной водопроводной водой паромасляного насоса, колпака и испарителей, предусмотрено гидрореле, выключающее установку и сигнализирующее об этом при недостаточном давлении воды. Для прогрева колпака с целью его обезгаживания ( а также подколпачного устройства) и для устранения конденсации паров воды при поднятии колпака в установке предусмотрена подача горячей воды в змеевик колпака. [32]

Пока происходит нагрев и откачка системы, приступают к подготовке рабочего объема установки к процессу напыления. Для чего тщательно протирают бязевым тампоном, смоченным в ацетоне, все внутренние поверхности подколпачного устройства. Укладывают на нагреватели полупроводниковые пластины, на которые необходимо напылить металл, проверяют состояние испарителей и в случае их исправности вешают на них определенное количество испаряемого материала в виде тонких и узких полосок - гусариков. Проверив состояние термопар, опускают колпак и закрепляют его специальными запорами. [33]

Установка УВН вакуумного напыления ( рис. 86), предназначенная для нанесения токопроводящего слоя на керамические основания резисторов МЛТ, состоит из корпуса, каркас 1 которого имеет съемные боковые передние и задние щиты, иодколпачного устройства, вакуумной системы 19, гидропривода подъема колпака 10, системы охлаждения и электрооборудования. На передней панели корпуса расположена рукоятка 3 управления вакуумным затвором, на крайней левой стойке - кнопки 4 и 5 управления гидроприводом подъема и опускания колпака, а с правой стороны - пульт управления 14 вакуумной системой 19 и подколпачным устройством. [34]

Установка УВН-61П-1 изготовлена на основе базовой модели УВН-2М. Она предназначена для напыления тонкопроводящего слоя резистивных сплавов типа МЛТ. Подколпачное устройство состоит из карусели, на которой установлены быстросъемные кассеты. Карусель с кассетами поворачивается с помощью привода. Длительность вакуумного цикла 100 мин. Эта установка может быть включена в автоматическую технологическую линию. [35]

Нижним торцом колпак в рабочем положении опирается на подколпачную плиту и уплотняется кольцевой прокладкой из вакуумной резины благодаря прижимному усилию, создаваемому тремя запорами. Откачка подколпачного объема производится через отверстие в подколпачной плите, на которой имеются ваку-умноплотные вводы для питания нагревателей, испарителей и ввода термопар и предусмотрены стойки для крепления различной арматуры. Конструкция подколпачного устройства выполнена для двух вариантов напыления металлов: снизу вверх и сверху вниз. [36]

Ситалловые подложки обрабатываются ионной бомбардировкой при давлении остаточного газа в камере 1 10 - 3 мм рт. ст. при напряжении 3 кВ в течение 5 - 10 мин. При более длительной обработке может произойти сопутствующее очистке осаждение алюминия. Кроме того, при неправильно выбранных материалах конструкции подколпачного устройства тлеющий разряд может стать источником загрязнений. [37]

Схема вакуумной системы установки УВН. [38]

Для измерения давления служит лампа ЛМИ-2, расположенная на базовой плите в рабочей зоне. Зона испарения и позиции кассет разделены защитными экранами 8, 9 и 10, предотвращающими взаимное влияние испарителей на качество металлизационного слоя. Экраны легко снимаются для очистки и не затрудняют откачку подколпачного устройства. [39]

Она предназначена для изготовления многослойных структур. Управление технологическим процессом осуществляется автоматически от пульта управления. Установка ( рис. 12 - 3) состоит из следующих основных частей: подколпачного устройства /, рабочей камеры 2, рамы 3, испарите-телей 4 и 5, вакуумного агрегата 6 ( АВТО-20М), механического насоса 7 ( ВН-2М-Г), вакуумной коммуникации и арматуры. [40]

Сварной из металлических уголков каркас установки закрыт снаружи съемными панелями. Для удобства перемещения в конструкции установки предусмотрены опоры качения. На верхней плите каркаса расположены некоторые элементы управления и рабочая напылительная камера, выполненная в виде колпака с подколпачным устройством, а под ней - вакуумная система и механизм подъема колпака. [41]

Так как при производстве пленарных приборов металлы напыляют преимущественно сверху вниз, рассмотрим подколпачное устройство для этого варианта напыления. При этом варианте напыления на плите имеется три нагревателя, которые можно включать параллельно или последовательно, пользуясь переключателем, расположенным на верхней панели блока управления. Распыление происходит при испарении металлов за счет тепла, выделяемого спиральными молибденовыми нагревателями. Контролируют температуру нагревателей тремя термопарами. Для прогрева колпака с целью улучшения вакуума в подколпачном устройстве имеется специальный нагреватель. Для удаления загрязнений, имеющихся на испаряемом металле, в первый момент напыление производят на заслонку, закрывающую полупроводниковые пластины, а затем заслонку откидывают. [42]

Страницы: 1 2 3