Cтраница 2
Одним из основных достоинств катодного распыления, давших ему широкое применение при изготовлении тонкопленочных микросхем, является возможность получения пленок тугоплавких веществ и их соединений, которые практически почти невозможно получить путем термического испарения в вакууме. [16]
Основным методом получения металлических пленок является вакуумное осаждение ( термическое испарение в вакууме) различных металлов ( алюминий, золото и др.), так как оно обладает рядом преимуществ: чистотой и воспроизводимостью процессов напыления, высокой производительностью, возможностью напыления на полупроводниковые пластины одного или нескольких металлов за одну операцию, и сплавления напыленной пленки металла в вакууме для предохранения ее от окисления, легкостью контролирования процесса напыления и возможностью получения пленок металла различной толщины и конфигурации при напылении металлов с применением масок. [17]
Получаемые из различных высокомолекулярных соединений пленки имеют важное значение в народном хозяйстве. Возможность получения пленок очень малой толщины с весьма высокими электроизоляционными свойствами обеспечивает им широкое применение и в качестве электроизоляционного материала в производстве электрических машин и аппаратов, а также при изготовлении обмоточных проводов и других кабельных изделий. [18]
Процесс термосенсибилизации можно проводить также в ла-тексах, стабилизованных НПАВ [83, 84], иногда применяя в качестве добавочных термосенсибилизирующих агентов высшие спирты, полипропиленгликоли. Преимуществом метода термосенсибилизации является возможность получения пленок значительно большей толщины, чем при обычном ионном отложении, а также отсутствие в геле электролита. [19]
При частоте же 20 - 30 кгц представляется возможность получения доброкачественных пленок. [20]
Технические полупроводники могут быть разбиты на четыре группы: 1) кристаллы с атомной решеткой ( графит, кремний, германий) и с молекулярной решеткой ( селен, теллур, сурьма, мышьяк, фосфор); 2) различные окислы: меди, цинка, кадмия, титана, молибдена, вольфрама, никеля и др.; 3) сульфиды ( сернистые соединения), селениды ( соединения с селеном), теллуриды ( соединения с теллуром) свинца, меди, кадмия и др.; 4) химические соединения некоторых элементов третьей группы периодической таблицы элементов ( алюминий, галий, индий) с элементами пятой группы ( фосфор, сурьма, мышьяк) и др. К числу полупроводников относятся некоторые органические материалы, в частности полимеры, имеющие соответствующую полупроводникам по ширине запрещенную энергетическую зону. Особенности свойств некоторых органических полупроводников, как гибкость, возможность получения пленок при достаточно большой механической прочности, заставляют считать их перспективными. [21]
Поливинилхлоридную пленку изготавливают преимущественно каландровым методом. Однако это процесс сравнительно малопроизводительный, трудоемкий и исключает возможность получения пленок толщиной менее 0 3 мм. [22]
КИ ЛОлупр рводники могут быть разбиты на четыре группы: 1) кристаллы с атомной решеткой ( графит, кремний, германий) и с молекулярной решеткой ( селен, теллур, сурьма, мышьяк, фосфор); 2) различные окислы: меди, цинка, кадмия, титана, молибдена, вольфрама, никеля и др.; 3) с льфдды ( сернистые соединения), селениды ( соединения с селеном), теллуриды ( соединения с теллуром) свинца, меди, кадмия и др.; 4) химические соединения некоторых элементов третьей группы периодической таблицы элементов ( алюминий, галий, индий) с элементами пятой группы ( фосфор, сурьма, мышьяк) и др. К числу полупроводников относятся некоторые органические материалы, в частности полимеры, имеющие соответствующую полупроводникам по ширине запрещенную энергетическую зону. Особенности свойств некоторых органических полупроводников, как гибкость, возможность получения пленок при достаточно большой механической прочности, заставляют считать их перспективными. [23]
Достигаемый в результате прививки гибкоцепного полимера ( например, полибутилакри-лата) эффект внутренней пластификации77, обеспечивающий возможность получения гибких ацетатных пленок без добавления низкомолекулярных пластификаторов, представляет для некоторых областей применения существенный интерес. [24]
В последнее время широкое применение находят сополимерные акриловые эмульсии, особенно содержащие в своем составе различные функциональные группы. Показано [12], что при введении функциональных групп в линейные молекулы алкилакрилатов улучшаются пленкообразующие свойства латексов и появляется возможность получения пленок трехмерной структуры. [25]
Если исходить, как это обычно практикуется, из веществ малого молекулярного secai, то образования коллоидных комплексов можно ожидать, конечно, только при достаточно высокой степени полимеризации. При этом желательно, чтобы полимеризация протекала с образованием длинных цепей, так как только в этом случае наряду с увеличением способности к сольватации, необходимой для образования гелей, обеспечивается высокая механическая прочность и возможность получения пленок или волокон. Значение этого фактора можно видеть, сопоставляя свойства целлюлозы и крахмала. Целлюлозе, макромолекулы которой обладают типичной линейной структурой, присущи все указанные выше свойства, крахмал же не обладает ни механической прочностью, ни способностью к образованию пленок и нитей, так как он построен из сильно разветвленных молекул, группирующихся в сферические комплексы. [26]
На втором этапе отжига температуру повышают до ее наибольшего значения, которое может достигать 1000 С. Стекло, входящее в состав пасты, расплавляется, и образующаяся стеклообразная масса соединяет частицы вещества пленки, а также обеспечивает ее соединение с поверхностью подложки. Возможность получения пленки с необходимыми свойствами зависит от характера химических реакций, протекающих в высокотемпературной зоне печи. Для получения высококачественных пленок требуется точный контроль температурного режима. [27]
Литературные данные по химическим методам получения тонких прозрачных пленок весьма ограничены и, кроме того, рассеяны в журналах различных научных и технических направлений. Вместе с тем, современное приборостроение требует особо прочных, твердых, термостойких и стабильных пленок в различных условиях эксплуатации. Ввиду этого особый интерес представляет возможность получения пленок из наиболее тугоплавких, химически инертных соединений; такими соединениями являются окислы, нитриды, карбиды, сульфиды и селениды некоторых элементов. [28]
Основными разновидностями данного метода являются химические реакции восстановления и замещения, пиролитические реакции двух или более газовых фаз, гидролиз или пирогидролиз. К достоинствам же следует отнести возможность получения пленок практически любых материалов при условиях, обеспечивающих их высокую чистоту, производительность и автоматизацию процессов. [29]
Потенциальное применение проводящего поли-ацстилепа весьма разнообразно, хотя пока еще ( до 1983 г.) он не используется в каких-либо производимых промышленностью устройствах. Технология изготовления таких элементов должна быть простой, а возможность получения пленок с большой площадью поверхности позволяет планировать их применение для преобразования солнечной энергии в электрическую. Однако, прежде чем это произойдет, предстоит решить проблему чувствительности нолиацетилена к кислороду. Возможно, что в будущем появятся замещенные или модифицированные аналоги полиацетилена, которые, сохранив высокую проводимость, не будут подвержены агрессивному воздействию атмосферы. [30]