Засвеченная участка
Cтраница 1
 |
Стадии процесса фотолитографии. [1] |
Засвеченные участки фоторезиста задуб-ливаются и приобретают растворимость в некоторых растворителях. После обработки пластины в органическом растворителе ( рис. 73, д) на пластине появляется рисунок, в точности повторяющий рисунок фотошаблона или маски. [2]
Засвеченные участки эмульсии частично полимеризу-ются, в результате чего повышается стойкость пленки против растворителей. Полимеризованную пленку эмульсии проявляют. Затем ее окрашивают в метилвиолете, промывают, дубят в хромовом ангидриде в течение 0 5 - 1 5 мин и промывают в проточной воде для полного удаления неполимеризовавшейся эмульсии. Полученную защитную пленку высушивают на воздухе. Для повышения стойкости пленки основание нагревают при 50 - 70 С в течение 20 - 30 мин, что повышает степень полимеризации эмульсии. [3]
В засвеченных участках слоя наблюдается резкое понижение интенсивности окраски, изменение ее оттенка, что обеспечивает цветовой контраст при экспонировании. При этом слеп после проявления также контрастен на подложке из-за присутствия в нем красителя. Цветовой контраст улучшает использование НС, не содержащей кислоты [ см., например, пат. [4]
В засвеченных участках слоя наблюдается резкое понижение интенсивност окраски, изменение ее оттенка, что обеспечивает цветовой контраст при эксш нировании. При этом слой после проявления также контрастен на подложи из-за присутствия в нем красителя. Цветовой контраст улучшает использовг ние НС, не содержащей кислоты [ см., например, пат. [5]
 |
Травление отверстий в. [6] |
Во время выдержки в нагретом состоянии в засвеченных участках формируется кристаллическая решетка. [7]
При кристалломорфологических исследованиях методом световых фигур часто на фотобумаге получаются большие засвеченные участки из-за сложной структуры поверхности. Это затрудняет точное определение угловых значений той или иной грани. [8]
На фоторезист проектируют требуемый рисунок маски, после чего изображение проявляют и засвеченные участки фоторезиста стравливают, обнажая окисную пленку. Затем с помощью травления обнаженные участки окисной пленки растворяют. [9]
Основными компонентами любого проявителя служат органические восстановители, которые восстанавливают серебро на засвеченных участках эмульсии и при правильно выбранном времени проявления практически не действуют на галогениды серебра незасвеченных участков. Чаще всего в качестве восстановителей используют метол и гидрохинон, реже - амидол, глицин и некоторые другие органические вещества. Кроме восстановителей в проявитель входят вещества, способствующие ускорению восстановления и его регулированию. Например, восстановление AgBr гидрохиноном протекает с достаточной скоростью только в щелочной среде. [10]
В случаях когда при съемке применяют специальную кассету с вмонтированной в нее импульсной лампочкой или лампу-вспышку, располагаемую, как и секундомер, непосредственно на рабочем месте, засвеченные участки на перфорационном поле или кадре служат отметками времени. Этот способ дает наиболее точные результаты, но применяют его редко из-за того, что почти все узкопленочные камеры не имеют таких кассет, а использование лампы-вспышки создает неудобства при проведении съемок, отвлекая внимание исполнителя. [11]
В зависимости от свойств различают негативные и позитивные фоторезисты. Засвеченные участки фоторезиста становятся нерастворимыми в проявителе. Эти участки после проявления остаются на поверхности пластины. Они образуют защитные покрытия, предохраняющие слой SiOz от разрушения травителями. Незасвеченные участки фоторезиста вымываются в процессе проявления. [12]
Засвеченные участки слоя приобретают глубокую желто-коричневую окраску. [13]
Так как спирт является растворителем шеллачной эмульсии, то ее незасвеченные места при выдержке в спирте около 1 мин. Засвеченные участки эмульсии остаются неизменными по толщине, но под действием спирта образуют пористую структуру. Наличие красителя в спирте облегчает наблюдение за процессом проявления, окончание которого устанавливается возникновением рисунка схемы. [14]
Засвеченные участки слоя приобретают глубокую желто-коричневую окраску. [15]
Страницы: 1 2 3 4 5