Cтраница 4
Нанесение плоских изображений может производиться способом фотопечати, принцип которой состоит в следующем. Необходимый рисунок через негатив при помощи светокопирования переносится на металл или другой материал, предварительно покрытый светочувствительной эмульсией. Под воздействием теплой воды в процессе проявления участки светочувствительной эмульсии, не подвергавшиеся действию света, легко набухают и снимаются. Теплая вода не действует на засвеченные участки и они остаются на металле. [46]
Запись изображений проводят синим светом с А - 420 нм, а считывание - красным с А 630 нм. При экспонировании кристалла в засвеченных участках происходит генерация носителей заряда, которые дрейфуют, к электродам под действием приложенного электрического поля, и попадая в диэлектрик, захватываются ловушками. В результате электрическое поле иа засвеченных участках внутри кристалла из-за комненсац ш зарядов на электродах зарядами на ловушках оказывается много меньше поля на незасвеченных участках, где компенсации зарядов не происходит. После экспонирования напряжение снимается, а электроды закорачиваются. [47]
На поверхность двуокиси S1O, наносится равномерный слой фотоэмульсии, так называемого фоторезиста. Сверху на слой фоторезиста накладывается стеклянная маска с прозрачными и зачерненными участками - фотошаблон. Сквозь эту маску засвечивают фоторезист ультрафиолетовым светом, как при обычной контактной фотопечати. После этого пластину с фоторезистом проявляют; в процессе проявления засвеченные участки фоторезиста стравливаются, и в этих местах обнажается поверхность двуокиси кремния. [48]
![]() |
Способы уменьшения поперечного сопротивления коллекторного слоя с помощью низкоомных шунтов. [49] |
На поверхность двуокиси SiO2 наносится равномерный слой фотоэмульсии, так называемого фоторезиста. Сверху на слой фоторезиста накладывается стеклянная маска с прозрачными и зачерненными участками - фотошаблон. Сквозь эту маску засвечивают фоторезист ультрафиолетовым светом, как при обычной контактной фотопечати. После этого пластину с фоторезистом проявляют; в процессе проявления засвеченные участки фоторезиста стравливаются, и в этих местах обнажается поверхность двуокиси кремния. Оставшийся ( незасвеченный) слой фоторезиста подвергают термическому дублению - полимеризации, в результате чего этот слой становится нечувствительным к химическим травителям. Поэтому, когда на следующем этапе пластину подвергают травлению, растворяются лишь обнаженные участки двуокиси кремния вплоть до поверхности самой пластины. Тем самым в оксидной маске получается необходимая совокупность окон, через которые в дальнейшем проводят локальную диффузию. [50]
В случае, когда необходимы прямые количественные измерения интенсивности рентгеновского излучения, применяют гейгеровские и сцинтилляционные счетчики. В основе фотографического способа регистрации рентгеновского излучения и электронов лежит фотохимическое действие их на фотоэмульсию. В результате фотохимического процесса происходит разложение молекул AgBr в эмульсионном слое и образование мелких зерен серебра. При проявлении эти зерна укрупняются, одновременно происходит дальнейшее разложение бромистого серебра на засвеченных участках пленки. При фиксировании неразложившиеся зерна удаляют из эмульсии, а непрозрачные зерна металлического серебра остаются, вызывая почернение пленки. Интенсивность рассеянного пропорциональна почернению пленки, которое измеряется с микрофотометров. [51]
![]() |
Диаграмма направленности панорамной РЛС е круговым обзором. [52] |
На экране такие поверхности будут выглядеть в виде слабосветящихся участков. Спокойные водные поверхности отражают радиоволны зеркально, поэтому при у. Крыши домов и их стены с асфальтом улиц часто образуют конфигурации, сходные с искусственными уголковыми отражателями, благодаря чему отраженные сигналы приходят в основном в направлении РЛС и все искусственные сооружения дают на экране ярко засвеченные участки. На рис. 25 - 135 6 показано выходное напряжение приемника импульсной РЛС, соответствующее рельефу, показанному на рис. 25 - 135 а. Его характер отоора-жает вид рельефа. [53]
Лазерные принтеры, обычно более дорогие по сравнению со струйными или матричными принтерами, выдают печать самого высокого качества. Их pa6ofa подобна работе аппаратов электрофотографического копирования. Изображение записывается на светочувствительный барабан с помощью лазера. Затем лист бумаги пропускается через красящую смесь ( тонер), представляющую собой мелкий порошок. Засвеченные участки выбирают красящую смесь, которая затем вплавляется в бумагу под воздействием тепла. [54]
Лазерные принтеры, обычно более дорогие по сравнению со струйными или матричными принтерами, выдают печать самого высокого качества. Их работа подобна работе аппаратов электрофотографического копирования. Изображение записывается на светочувствительный барабан с помощью лазера. Затем лист бумаги пропускается через красящую смесь ( тонер), представляющую собой мелкий порошок. Засвеченные участки выбирают красящую смесь, которая затем вплавляется в бумагу под воздействием тепла. [55]
![]() |
Лазерный принтер. [56] |
Лазерный принтер получает информацию, поступающую от микропроцессора через кабель. Затем она поступает на процессор изображений, который переводит данные на язык инструкций для лазера или язык PostScript. Принтер запускает лазер, луч которого попадает на вращающееся зеркало, отражающее его на барабан, покрытый светочувствительным веществом. Барабан вращается в картридже полным тонера. Засвеченные участки барабана притягивают, а не засвеченные, соответственно, отталкивают тонер. Тонер переносится на бумагу, которая, в конце-концов, и вылезает из принтера. [57]
Оптическая литография применяется наиболее широко; техника и методы ее отработаны настолько, что позволяют получать элементы ИС с размерами в единицы микрометра. В основе процесса оптической ( фото) литографии лежит перенос изображения ( репродуцирование) с фотошаблонов на рабочую пластину ( подложку), покрытую специальным светочувствительным слоем-фоторезистом. Изображение топологического слоя ИС создается вначале на фотошаблоне - стеклянной пластине, покрытой тонким слоем фотоэмульсии или пленкой хрома с нанесенным на ее поверхность фоторезистом. Этот шаблон размещают на подложку, покрытую слоем фоторезиста, вплотную ( контактная фотолитография) или с малым зазором. При последующей обработке ( проявлении) засвеченные участки позитивного фоторезиста удаляются. [58]
Основным печатающим устройством лазерного принтера, так же как ксерокса, является валик-барабан, имеющий светочувствительное покрытие, изменяющее свои электрические свойства в зависимости от освещенности. Принцип работы лазерного принтера заключается в следующем. Компьютер формирует в своей памяти образ страницы текста и передает его принтеру. Информация о странице проецируется с помощью лазерного луча на вращающийся барабан. После чего на барабан наносится красящий порошок - тонер, частицы которого налипают на засвеченные участки поверхности барабана. Принтер с помощью специального горячего валика протягивает бумагу под барабаном; тонер переносится на бумагу и вплавляется в нее, оставляя стойкое высококачественное изображение. В отличие от лазерных принтеров в светодиодных принтерах ( которые часто также называют лазерными) информация на барабан проецируется не лазерным лучом, а светодиодной матрицей. Из-за сложности технологии цветной лазерной печати цветные лазерные принтеры стоят значительно дороже черно-белых. [59]
Ведущую роль в технологии микросхем занимает фотолитография. Она основывается на использовании светочувствительных полимерных материалов - фоторезистов, которые могут быть негативными и позитивными. Негативные фоторезисты под действием света полимери-зуются и становятся нерастворимыми в специальных веществах - проявителях. После локальной засветки ( экспонирования) растворяются и удаляются незасвеченные участки. Наибольшая чувствительность негативных фоторезистов соответствует длине волны света 0 28 мкм ( ультрафиолет), поэтому экспонирование осуществляют с помощью кварцевой лампы. В позитивных фоторезистах свет разрушает полимерные цепочки: растворяются засвеченные участки. [60]