Cтраница 3
Здесь слитки получаются сплошными не только при кристаллизации под положительным углом наклона, но даже под малым отрицательным углом. Форма фронта кристаллизации везде симметрична. При р - 90, как и в случае отсутствия вращения контейнера, в центре слитка возникает свободная полость. Вращение контейнера обеспечивает ей правильную форму. [31]
![]() |
Изменение распределения примесей в результате многократного прохождения зоны вдоль слитка. [32] |
Значительная зависимость структурно-чувствительных свойств полупроводниковых материалов от природы и концентраций примесей дает возможность выявлять влияние различных технологических факторов на особенности процесса кристаллизации. Форму фронта кристаллизации можно легко выявить, вводя в расплав во время процесса вытягивания последовательно донор-ные и акцепторные примеси. Это позволяет создать вдоль монокристаллического слитка несколько электронно-дырочных переходов, форма которых соответствует форме фронта кристаллизации в моменты введения в расплав каждой новой порции лигатуры. [33]
Другим важным фактором, влияющим на равномерность фронта кристаллизации, является наличие гидродинамического течения в расплаве. В обычном стальном слитке форма фронта кристаллизации, в связи с перемешиванием расплава при разливке, отличается от формы фронта кристаллизации полого слитка, в котором часто возникает граненость. [34]
I, между размером канала и формой фронта кристаллизации существует тесная взаимосвязь. В процессе плавки фронт кристаллизации может иметь выпуклую, выпукло-вогнутую и вогнутую формы. Основными технологическими параметрами, влияющими на форму фронта кристаллизации, являются скорость выращивания и диаметр кристалла, а параметром, ее характеризующим, - тангенс угла наклона фронта кристаллизации в центральной части кристалла. С увеличением кривизны фронта кристаллизации канал может исчезнуть. [35]
Приведенная выше классификация форм фронта кристаллизации присуща только дислокационным монокристаллам. Как будет показано ниже, однозначно определить форму фронта кристаллизации невозможно, не учитывая кристаллографическую ориентацию растущего монокристалла и его дислокационную структуру. [36]
При резком изменении выпуклой формы фронта кристаллизации на менее выпуклую или плоскую форму происходит расплавление центральной части конуса. Зудзик высказал предположение, что такая естественная смена формы фронта кристаллизации связана с критической длиной кристалла, которая определяет величину теплоотвода через него. [37]
Такое же возмущающее действие на зону расплава оказывает и изменение скорости выращивания и вращения держателей-кристалла. При этом изменяются высота и форма зоны расплава, форма фронта кристаллизации и плавления, потоки в зоне расплава. [38]
Возникновение граней не вызывало нарушений бездефектной структуры, однако ее появление всегда было связано со значительной неоднородностью свойств в кристалле по радиусу. Опыты показали, что возникновение и развитие граней определяется формой фронта кристаллизации. [39]
![]() |
Тепловой узел уста-овки для бестигельной зонной плавки кремния с высокочастотным ( а и ре-зистивным ( б устройствами для подогрева выращиваемого монокристалла. [40] |
Так же как и в методе Чох-ральского, этот эффект заметен только на монокристаллах малого диаметра. Изменение скорости вращения монокристалла в широком диапазоне не влияет на форму фронта кристаллизации. Это, по-видимому, является следствием того, что вклад в перемешивание расплава вследствие вращения монокристалла намного меньше вклада, вносимого электромагнитным перемешиванием расплава, создаваемым действием высокочастотного поля. [41]
Данные о характере ростовой зональности в объеме кристалла позволяют судить об изменении формы фронта кристаллизации во время его выращивания от сильно выпуклой конусообразной до сильно вогнутой. Известно, что форма фронта кристаллизации зависит от скоростей вытягивания и вращения кристалла, его диаметра и теплопроводности, глубины расплава. [42]
Бриджмена - Стокбар-гера при скорости опускания тигля 0 5 - 1 мм / ч и менее. На качество выращенных кристаллов влияют состав и методы подготовки шихты, материал тигля, форма фронта кристаллизации, характер температурного поля в кристаллизаторе и многое другое. [43]
Методом вакуум-кристаллизации можно более точно определить скорость затвердевания корки слитка, особенно в начальный момент кристаллизации. Этим методом можно оценивать и некоторые другие характеристики: склонность стали к переохлаждению, форму фронта кристаллизации, характер дендритной структуры, склонность к образованию пористости и трещин, а также влияние модификаторов на эти характеристики. [44]
![]() |
Принципиальная схема установки для киносъемки процесса кристаллизационной очистки и фронта кристаллизации. [45] |